[发明专利]高比表面二氧化钛薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种高比表面二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于它的步骤如下：

1)超声波条件下依次用有机溶剂和去离子水清洗基材，干燥；

2)基材用筛网遮挡，放入溅射反应室中，抽真空，加热，先以金属锌为靶材，通入工作气，压强控制在0.5～2.0Pa，在基材上溅射生长单质锌薄膜；然后将筛网去除，以金属钛为靶材，通入反应气体，压强控制在0.5～2.0Pa，在单质锌薄膜上溅射生长氧化钛薄膜，以此交替重复多次，得到单质锌和氧化钛的叠层复合膜；

3)将单质锌和氧化钛的叠层复合膜在1×10^-6～1×10^-1mol/L酸液中浸泡，干燥，得到高比表面的二氧化钛薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种高比表面二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于所述的以此交替重复多次，得到单质锌和钛氧化物的叠层复合膜中，每镀一定层数的叠层复合膜，用酸液除去单质锌。

3.一种高比表面二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于它的步骤如下：

1)超声波条件下依次用有机溶剂和去离子水清洗基材，干燥；

2)基材用筛网遮挡，放入溅射反应室中，抽真空，加热，以金属锌为靶材，通入反应气体和工作气体，压强控制在0.5～2.0Pa，在基材上溅射生长氧化锌薄膜，然后将筛网去除，以金属钛为靶材，在氧化锌薄膜上溅射生长氧化钛薄膜，以此交替重复多次，得到氧化锌和氧化钛叠层复合膜；

3)将氧化锌和氧化钛叠层复合膜在1×10^-6～1×10^-1mol/L的酸液中浸泡，干燥，得到高比表面的二氧化钛薄膜。

4.根据权利要求3所述的一种高比表面二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于所述的以此交替重复多次，得到氧化锌和氧化钛叠层复合膜中，每镀一定层数的叠层复合膜，用酸液除去氧化锌。

5.一种高比表面二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于它的步骤如下：

1)超声波条件下依次用有机溶剂和去离子水清洗基材，干燥；

2)将基材放入溅射反应室中，加热，通入反应气体和工作气体，以金属锌和金属钛为靶材，压强控制在0.5～2.0Pa，在基材上同时溅射生长氧化锌和氧化钛，氧化锌和氧化钛互相掺杂，得到氧化锌和氧化钛复合膜层；

3)将氧化锌和氧化钛复合膜层在1×10^-6～1×10^-1mol/L酸液中浸泡，干燥，得到高比表面的二氧化钛薄膜。

6.根据权利要求1、3或5所述的一种高比表面二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于：步骤1)中所述的有机溶剂为丙酮、氯仿、甲醇或乙醇。

7.根据权利要求1、3或5所述的一种高比表面二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于：所述的基材是FTO导电玻璃、ITO导电玻璃、AZO导电玻璃、普通玻璃、陶瓷、聚乙烯、聚苯乙烯或无纺布。

8.根据权利要求1、3或5所述的一种高比表面二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于：所述的反应气体是纯氧或空气；工作气体为氩气、氮气或氩气和氮气的混合气体。

9.根据权利要求1、3或5所述的一种高比表面二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于：所述的酸液为稀盐酸、稀硫酸、醋酸、草酸、稀磷酸或稀硝酸。

10.根据权利要求1、3或5所述的一种高比表面二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于：所述的高比表面的二氧化钛薄膜在80～600℃条件下退火处理0.1～1.5小时。