[发明专利]一种具有垂直磁各向异性纳米点阵列的制备方法无效
| 申请号: | 201010575867.1 | 申请日: | 2010-12-07 | 
| 公开(公告)号: | CN102543107A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 | 
| 发明(设计)人: | 王雅新;张永军;杨景海 | 申请(专利权)人: | 吉林师范大学 | 
| 主分类号: | G11B5/84 | 分类号: | G11B5/84 | 
| 代理公司: | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人: | 石岱 | 
| 地址: | 136000 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 | 
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| 摘要: | 本发明涉及一种可应用于高密度磁存储的纳米结构材料的制备方法,具体的说是一种具有垂直磁各向异性纳米点阵列的制备方法。该制备方法包括以下步骤:①衬底的制备,采用自组装技术制备单层呈六角密堆的胶体阵列球面衬底;②双层膜沉积,采用溅射技术向①中制得的胶体阵列球面衬底上沉积Co/Pt多层膜,使得小球间隙的薄膜厚度仅为小球顶部薄膜厚度的2/3,从而获得具有垂直磁各向异性纳米点。本方法制备的纳米点阵列边缘结构完整、存储性能好、垂直各向异性强的。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 具有 垂直 各向异性 纳米 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】:
                一种具有垂直磁各向异性纳米点阵列的制备方法,其特征在于:该制备方法包括以下步骤:①、衬底的制备,采用自组装技术制备单层呈六角密堆的胶体阵列球面衬底;②、双层膜沉积,采用溅射技术向①中制得的胶体阵列球面衬底上沉积Co/Pt多层膜,使得小球间隙的薄膜厚度仅为小球顶部薄膜厚度的2/3,从而获得具有垂直磁各向异性纳米点。
            
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