[发明专利]三次位相板精度的检测方法及系统无效
| 申请号： | 201010568204.7 | 申请日： | 2010-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN102478386A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 解滨;肖志宏 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮;李辰 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三次位相板精度的检测方法及系统，包括：A、发出平行光通过三次位相板到达反射镜，反射镜与所述三次位相板成预设角度；B、接收从反射镜通过三次位相板返回的反射光，形成干涉面形测量数据；C、将干涉面形测量数据与预设模板进行对比，得到三次位相板的误差；D、将误差进行泽尼克多项式展开；E、调整三次位相板的位置并重复执行步骤A、B、C和D，直至泽尼克多项式第三、四、六和七项的系数为零，将此时的误差作为最终误差。本发明实现了将三次位相板本身的面型误差，与摆放位置的偏差所造成的误差剥离，并且能够使用户直观地调节三次位相板的位置，来消除因摆放位置偏差所造成的误差，从而提高了检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 三次 位相 精度 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种三次位相板精度的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：A、发出平行光通过三次位相板到达反射镜，所述反射镜与所述三次位相板成预设角度；B、接收从所述反射镜通过所述三次位相板返回的反射光，形成干涉面型测量数据；C、将所述干涉面型测量数据与预设模板进行对比，得到所述三次位相板的误差；D、将所述误差进行泽尼克多项式展开；E、调整所述三次位相板的位置并重复执行所述步骤A、B、C和D，直至所述泽尼克多项式第三、四、六和七项的系数为零，将此时的误差作为所述三次位相板的最终误差。
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