[发明专利]三次位相板精度的检测方法及系统

权利要求书

1.一种三次位相板精度的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

A、发出平行光通过三次位相板到达反射镜，所述反射镜与所述三次位相板成预设角度；

B、接收从所述反射镜通过所述三次位相板返回的反射光，形成干涉面型测量数据；

C、将所述干涉面型测量数据与预设模板进行对比，得到所述三次位相板的误差；

D、将所述误差进行泽尼克多项式展开；

E、调整所述三次位相板的位置并重复执行所述步骤A、B、C和D，直至所述泽尼克多项式第三、四、六和七项的系数为零，将此时的误差作为所述三次位相板的最终误差。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述调整三次位相板的位置并重复执行所述步骤A、B、C和D，直至所述泽尼克多项式第三、四、六和七项的系数为零，包括：

在水平和竖直方向调节所述三次位相板的平移误差，直至所述泽尼克多项式第三和第四项的系数为零；

在轴向调节所述三次位相板的旋转误差，直至所述泽尼克多项式的第六和第七项的系数为零。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述三次位相板的平移误差的调整量为：Δx＝(2Z₃+Z₄)/3kλ，Δy＝(2Z₃-Z₄)/3kλ；其中，Δx表示水平调整量，Δy表示竖直调整量，Z₃为泽尼克多项式的第三项系数，Z₄为泽尼克多项式的第四项系数，k是一个无量纲常数，表示三次位相板的面型高度，λ为光的波长。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述在轴向调节三次位相板的旋转误差，直至所述泽尼克多项式的第六和第七项的系数为零，包括：

沿一个方向旋转所述三次位相板；

如果得到的泽尼克多项式的第六和第七项系数的绝对值变小，则沿该方向继续旋转直至所述泽尼克多项式的第六和第七项的系数为零。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述三次位相板的旋转误差的调整量为：其中，Z₇为泽尼克多项式的第七项系数，k是一个无量纲常数，表示三次位相板的面型高度。

6.一种三次位相板精度的检测系统，其特征在于，包括：

发光装置，用于发出平行光通过三次位相板到达反射镜，其中，所述反射镜与所述三次位相板成预设角度；

成像装置，用于接收从所述反射镜通过所述三次位相板返回的反射光，形成干涉面型测量数据；

误差检测装置，用于将所述干涉面型测量数据与预设模板进行对比，得到所述三次位相板的误差；

误差分析装置，用于将所述误差进行泽尼克多项式展开，以及当用户调整所述三次位相板的位置，直至所述泽尼克多项式第三、四、六和七项的系数为零时，将此时的误差作为所述三次位相板的最终误差。