[发明专利]一种紫外灯灯头透镜外表面清洗装置无效
| 申请号： | 201010567309.0 | 申请日： | 2010-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN102476110A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 李海洋;吴庆浩;花磊;崔华鹏;陈平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及质谱电离源中真空紫外灯的在线或离线清洗，是一种紫外灯灯头透镜外表面清洗装置，包括密封的电离腔，电离腔的侧壁上设置有真空紫外灯安装口，电离腔的侧壁上设有一贯穿电离腔壁面的导气管，导气管的出口端位于真空紫外灯下方，导气管入口端与臭氧发生器的气体出口相连，臭氧发生器气体入口与氧气源连接。本发明中利用臭氧发生器产生的含有高浓度臭氧气体在一定气压和温度下对紫外灯透镜上吸附的有机物氧化反应，实现对灯头透镜表面的清洗。本发明解决了质谱用真空紫外灯污染问题，具有非拆卸清洗，速度快，效果好的优点，提高了真空紫外灯电离源的稳定性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 灯头 透镜 外表 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种紫外灯灯头透镜外表面清洗装置，包括密封的电离腔(2)，其特征在于：电离腔(2)的侧壁上设置有真空紫外灯(1)安装口，电离腔(2)的侧壁上设置有尾气排气口(6)，电离腔(2)的侧壁上设有一贯穿电离腔(2)壁面的导气管(3)，导气管(3)的出口端位于真空紫外灯(1)下方，导气管(3)入口端与臭氧发生器(5)的气体出口相连，臭氧发生器(5)气体入口与氧气源(7)连接。
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