[发明专利]一种紫外灯灯头透镜外表面清洗装置

说明书

技术领域

本发明涉及质谱电离源中真空紫外灯的在线或离线清洗。真空紫外灯的长期使用后会导致窗口出现沉积物，降低了真空紫外光的光通过率。通过使用臭氧与真空紫外灯窗口上的沉积物反应，将沉积物清除，使真空紫外灯恢复到原有光通量。

背景技术

真空紫外灯电离源具有体积小，功耗低，灵敏度高，寿命长，谱图简单等优点，适合于复杂样品分析及样品的在线监测，过程监控等领域。但是，真空紫外灯在长期真空下使用后，由于泵油及样品在灯头透镜处的沉积，会造成光通过率严重下降。目前对此的解决办法是将灯拆卸后使用酒精擦洗。由于质谱电离源往往需要在真空下工作，因此，拆卸过程需要破坏真空，因此这种方法费时费力。

臭氧是一种不稳定的强氧化性气体，可以将大部分有机物氧化成小分子化合物。本技术中利用臭氧对灯头表面沉积物氧化，从而达到清洗灯头的目的。本专利中有两种臭氧发生源，一方面，氧气经过臭氧发生器后会产生一定浓度的臭氧。另一方面，氧气在真空紫外灯的照射下也可以产生臭氧。通过以上技术，达到提高臭氧浓度，从而提高对灯头沉积物的氧化能力。在此基础上，还利用加热装置加快臭氧的氧化反应。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于真空紫外灯的在线或离线清洗装置，在线时可避免了电离源的拆卸，提高了电离源的稳定性和可靠性。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案为：

一种紫外灯灯头透镜外表面清洗装置，包括密封的电离腔，电离腔的侧壁上设置有真空紫外灯安装口，

电离腔的侧壁上设有一贯穿电离腔壁面的导气管，导气管的出口端位于真空紫外灯下方，导气管入口端与臭氧发生器的气体出口相连，臭氧发生器气体入口与氧气源连接。

所述导气管的出口端位于真空紫外灯下方1-5mm处，与真空紫外灯主轴距离为10mm；所述导气管外表面设置有电加热管或缠绕有电加热丝，它们可对导气管加热，且加热温度可调。

所述臭氧发生器与氧气源用一带有开关阀的导气管连接；臭氧发生器为能够利用空气或纯氧气产生臭氧的装置；对紫外灯灯头透镜外表面进行清洗时，电离腔中的气压为100-100000Pa；真空紫外灯与电离腔间密封连接。

工作时，在打开真空紫外灯的条件下氧气源流出纯氧气或干燥空气，并打开臭氧发生器，调节电离腔中的气压为100-100000Pa。

本发明中利用臭氧发生器产生的含有高浓度臭氧气体在一定气压和高温下对紫外灯透镜上吸附的有机物氧化反应，实现对灯头透镜的清洗。本发明解决了质谱用真空紫外灯污染问题，具有非拆卸清洗，速度快，效果好的优点，提高了真空紫外灯电离源的稳定性和可靠性。

本发明简单易用，提高了真空紫外灯长期工作的稳定性和可靠性。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，

真空紫外灯与电离腔密封，导气管穿过电离区，其出口位于真空紫外灯下方1mm处，与真空紫外灯轴距离为3mm。导气管入口处安装有加热管。导气管与臭氧发生器相连，臭氧发生器与氧气源用带有开关阀的导气管连接。

工作时，打开氧气源，臭氧发生器，真空紫外灯和加热管，将加热管温度控制在90℃，调节电离区的气压500Pa。在此条件下，发生氧化反应。反应时间与表面沉积物的清洗程度相关，反应时间越长，清洗效果越好。