[发明专利]探针装置有效
| 申请号： | 201010566098.9 | 申请日： | 2010-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102081110A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 久我智昭;安田贵生;小笠原树理;清野洋二;中屋敷勇太;三浦一佳;赤平惠 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针装置。该探针装置尽可能地减小探针相对于探针支架的位移量之差而能够进行正确的测试。探针装置包括探针组装体，该探针组装体包括多个探针、及将这些探针配置成使其针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔并沿前后方向延伸的状态的探针支架。上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第1部位，其朝下；以及第2部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第3部位，其朝上，并能够与上述第1部位抵接；以及第4部位，其朝后，并能够与上述第2部位抵接。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 装置 | ||
【主权项】：
一种探针装置，包括探针组装体，该探针组装体包括：多个探针，该探针具有针中央区域；以及探针支架，在该探针支架上，使上述针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔地配置有多个上述探针；上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第1部位，其朝下；以及第2部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第3部位，其朝上，并能够与上述第1部位抵接；以及第4部位，其朝后，并能够与上述第2部位抵接。
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