[发明专利]探针装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种探针装置，其用于对液晶显示面板这样的平板状被检查体进行电测试。

背景技术

通常，通过采用探针单元、探针组件这样的探针装置的检查装置、即测试装置对液晶显示面板这样的平板状被检查体进行检查、即测试。作为这种探针装置之一，存在专利文献1所记载的装置。

专利文献1所记载的探针装置包括安装于测试装置的主架上的板状的探针座、安装于探针座的连结组件、能够调整高度位置地悬架在连结组件上的支承组件、以及将多个探针支承于探针支架上并组装于支承组件的探针组件(探针组装体)。

探针支架在自该探针支架向上方突出的凸部插入在形成于滑动组件的凹部的状态下利用一对螺纹构件安装于连结组件。由此，探针组件能够自支承组件解除地维持在该支承组件上。

各探针具有板状的针中央区域、自该针中央区域一体地向前方延伸的针前部区域、自该针前部区域向下方延伸的顶端针尖、自针中央区域一体地向后方延伸的针后部区域、以及自该针后部区域向上方延伸的后端针尖。这种探针以使针中央区域面对的状态配置、支承在探针支架上。

探针组装体除探针和探针支架之外还包括沿着探针厚度方向贯穿针中央区域地延伸并在两端部支承于探针支架的导杆、为了接纳针前部区域而具有在左右方向上隔开间隔的多个槽且支承于探针支架的前侧槽杆、以及为了接纳针后部区域而具有在左右方向上隔开间隔的多个槽且支承于探针支架的后侧槽杆。

在专利文献1所记载的探针装置中，探针被导杆支承于探针支架，而且使其顶端针尖和后端针尖分别自对应的槽杆的槽向前方和后方突出。在这种探针装置中，一旦顶端针尖和后端针尖分别被按压在被检查体的电极和载带自动键合带这样的配线片的连接部上，各探针会受到过载驱动力(overdrive)的作用，探针相对于探针支架在前后方向和上下方向上的位移量就根据存在于各探针与导杆之间的间隙的大小而不同。

由于设计上和加工上的允许公差，无法避免在探针与导杆之间形成上述那样的间隙。结果，顶端针尖与被检查体的电极之间的接触、及后端针尖与配线片的连接部之间的电接触不稳定，无法进行正确的测试。

为了解决上述课题，在专利文献2所记载的探针装置中，将上述导杆作为定位销，而且在各探针的针中央区域的顶端部和后端部分别设置朝向前方敞开的コ字形的第1及第2凹部，在顶端侧槽杆和设置于组件片后端部的承载杆中分别设置向后方突出而与第1及第2凹部嵌合的第1及第2凸部。

在专利文献2所记载的探针装置中，将导杆作为定位销、第1凹部和第1凸部嵌合、以及第2凹部和第2凸部嵌合，从而降低了过载驱动力作用于各探针时探针相对于组件片的位移量之差。

可是，即使如上述那样进行设计，在设计上和加工上允许销构件与探针的嵌合部、第1凹部和第1凸部的嵌合部、及第2凹部和第2凸部的嵌合部的间隙，而且在加工上及组装作业上难以使这种间隙为零。

鉴于上述结果，在专利文献2所记载的探针装置中，只是能够将过载驱动力作用于各探针时探针相对于探针支架(特别是组件片)的位移量之差减小一定程度。因此，在专利文献2所记载的探针装置中，顶端针尖与被检查体的电极之间的接触、及后端针尖与配线片的连接部之间的接触不稳定，无法进行正确的测试。

专利文献1：日本特开2004-191064号公报

专利文献2：日本特开2009-115585号公报

发明内容

本发明的目的在于尽可能地减小探针相对于探针支架的位移量之差而能够进行正确的测试。

本发明的探针装置包括探针组装体，该探针组装体包括：多个探针，该探针具有针中央区域；以及探针支架，在该探针支架上，使上述针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔地配置有多个上述探针；上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第1部位，其朝下；以及第2部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第3部位，其朝上，并能够与上述第1部位抵接；以及第4部位，其朝后，并能够与上述第2部位抵接。

也可以是，上述第2部位和上述第4部位分别在上下方向上离开上述第1部位和上述第3部位。

也可以是，上述针中央区域具有沿上下方向和前后方向延伸的板状，上述探针还包括：针前部区域，其自上述针中央区域的前端部向前方延伸；顶端针尖，其自上述针前部区域的前端部向下方延伸；针后部区域，其自上述针中央区域的后端部向后方延伸；以及后端针尖，其自上述针后部区域的后端部向上方延伸。