[发明专利]一种防腐蚀碱性显影液组合物

摘要

本发明提供一种防腐蚀碱性显影液组合物，该组合物含有组分及重量百分含量为，有机碱水溶液0.1～10％，小分子的多羟基醇或醇醚2～20％，显影加速剂＜1％，消泡剂0.005～1％，本发明提供的显影液组合物，可应用于感光性酚醛树脂系列抗蚀剂对紫外(UV)曝光后图像的形成，且该显影液组合物适用于中小尺寸液晶显示器件和半导体器件金属电极的制作，它可以改善对碱敏感的金属显影后带来的图形不良问题，同时保证显影液显影性能优良，pH值稳定、在喷淋法显影过程低起泡，寿命长，图像残渣少。

主权项

一种防腐蚀碱性显影液组合物，其特征在于：该组合物含有组分及重量百分含量为，有机碱水溶液              0.1～10％；小分子的多羟基醇或醇醚    2～20％；显影加速剂(有机胺)        ＜1％；消泡剂(聚醚改性有机硅)    0.005～1％。