[发明专利]电弧的检测与抑制电路和方法

摘要

用以检测或抑制在连接至电源负载过程中产生的电阻抗中，电弧或其它异常变化的方法及设备。较佳地，该负载为一等离子体室，用以制造例如半导体及平面显示器的电子组件。电弧通过监视一个或多个感应器加以检出。每一感应器对电源至等离子体过程中所供给至电源特征作出反应，或者，被耦合至等离子体室，以对室内的电磁状态作出反应。通过降低简短功率输出时间，而抑制电弧。然后，电源增加其功率输出，较佳至其原始值。若再发生电弧，则电源重复降低然后回复功率输出这一步骤。

主权项

一种检测在电负载的电阻抗中的异常变化的电路，其中有一电源供给电力给该电负载，该电路包含：电源，具有向其提供电力的一输出，其中所述电力具有一可调节的频率，且其中所述输出适用于连接到一电负载；用于产生感应信号的装置，该感应信号表示所述频率；以及比较电路，该比较电路被连接以从感应器接收所述感应信号，其中所述比较器电路检测所述感应信号何时跨过一临界值。