[发明专利]电弧的检测与抑制电路和方法

权利要求书

1.一种检测在电负载的电阻抗中的异常变化的电路，其中有一电源供给电力给该电负载，该电路包含：

电源，具有向其提供电力的一输出，其中所述电力具有一可调节的频率，且其中所述输出适用于连接到一电负载；

用于产生感应信号的装置，该感应信号表示所述频率；以及

比较电路，该比较电路被连接以从感应器接收所述感应信号，其中所述比较器电路检测所述感应信号何时跨过一临界值。

2.如权利要求1所述的电路，其特征在于，还包括：

警告电路，如果所述比较电路检测到所述感应信号跨过所述临界值，则发出一警报，表示所述电负载中的异常变化。

3.一种检测在电负载的电阻抗中的异常变化的电路，其中有一电源供给电力给该电负载，该电路包含：

电源，具有向其提供电力的一输出，其中所述电力具有一可调节的频率，且其中所述输出适用于连接到一电负载；

用于产生感应信号的装置，该感应信号表示所述频率；

感应信号接收电路，用于接收所述感应信号并用于产生感应器导出信号，该感应器导出信号具有为所述感应信号的函数的值；

比较电路，用于接收所述感应器导出信号并产生一比较结果，该比较结果可以是真或假；

其中，所述比较器根据所述感应器导出信号大于还是小于一临界值来确定所述比较结果的值；以及

警告电路，如果所述比较结果是正，则发出一警报，表示电负载中的异常变化。

4.如权利要求1-3中的任一个所述的电路，其特征在于，还包括：

控制器，产生一输出，该输出控制所述电源提供的电力的所述频率；

其中所述感应信号是所述控制器的输出。

5.如权利要求4所述的电路，其特征在于，还包括：

频率可调匹配网络，具有一连接到所述电源的输出的输入。

6.如权利要求1-3中的任一项所述的电路，其特征在于，还包括：

频率可调匹配网络，具有一连接到所述电源的输出的输入。

7.如权利要求1-3或5中的任一项所述的电路，其特征在于，所述电负载是被连接以接收所述电力的等离子体腔室。

8.一种检测在电负载的电阻抗中的异常变化的电路，其中有一电源供给电力给该电负载，该电路包含：

电气可调的RF匹配网络，包括一个或多个电感或电容，所述电感或电容的各自值响应于各自电气控制信号而被调节，其中所述RF匹配网络适于连接到电负载；

感应信号接收电路，用于接收每一控制信号并用于产生一个或多个感应器导出信号，以使所述每一感应器导出信号的值是所述控制信号中的一个或多个的函数；

比较电路，用于接收所述感应器导出信号并为每一感应器导出信号产生一相应的比较结果，其中每一比较结果具有一真或假的值，且其中所述比较器根据相应的感应器导出信号大于还是小于与该感应器导出信号相关联的临界值来确定每一比较结果的值；以及

警告电路，如果所述比较结果中的任一个是正，则发出一警报，表示电负载中的异常变化。

9.如权利要求8所述的电路，其特征在于，还包括：

RF电源，具有连接到RF匹配网络的输入的输出；以及

等离子体腔室，连接到RF匹配网络的输出。

10.一种检测在电负载的电阻抗中的异常变化的电路，其中有一电源供给电力给该电负载，该电路包含：

RF电源，具有提供RF功率的输出，其中所述输出适于连接到一电负载；

RF失真分析器，用于产生一感应信号，其中所述RF失真分析器检测所述RF电源提供的RF功率的失真；

感应信号接收电路，用于接收感应信号并用于产生感应器导出信号，该感应器导出信号具有一值，该值为所述感应信号的函数；

比较电路，用于接收所述感应器导出信号并产生一比较结果，该比较结果可以是真或假，

其中所述比较器根据感应器导出信号大于还是小于一临界值来确定比较结果的值；以及

警告电路，如果所述比较结果是正，则表示电负载中的异常变化。