[发明专利]手臂机构及具备该机构的真空机器人

摘要

本发明提供一种高刚性还具有耐热性的适合于真空环境内的真空机器人的手臂结构。具体为，具备：手臂基座，在内部具有气密空间；手臂驱动用马达，设置在手臂基座内；第1减速器，由通过手臂驱动用马达旋转的中空减速器轴、及输入减速器轴的旋转并仅以规定比减速并在减速器轴周围旋转的第1减速器输出轴构成，设置为减速器轴的下端露出在手臂基座内；第1手臂，通过使中空减速器轴的上端进入而具有与手臂基座的气密空间相同压力的气密空间，且固定于第1减速器输出轴；第2减速器，设置在第1手臂的前端，输入轴与减速器轴连接；第2手臂，固定在第2减速器的输出轴上，在内部不具有气密空间；及连杆机构，跟随第1手臂和第2手臂。

主权项

一种真空机器人，是在减压环境内搬运衬底的真空机器人，其特征在于，其手臂具备：手臂基座，在内部具有气密空间；手臂驱动用马达，设置在所述手臂基座的气密空间内；第1减速器，由输入所述手臂驱动用马达的旋转而旋转的中空减速器轴、及输入所述减速器轴的旋转并仅以规定比减速并在所述减速器轴周围旋转的第1减速器输出轴构成，设置为所述中空减速器轴的下端露出在所述手臂基座的气密空间内；第1手臂，通过使所述中空减速器轴的上端进入而具有与所述手臂基座的气密空间相同压力的气密空间，且基端部固定在所述第1减速器输出轴上；第2减速器，设置在所述第1手臂的前端，输入轴通过传递机构与所述减速器轴的上端连接；第2手臂，基端部固定在所述第2减速器的输出轴上，在内部不具有气密空间；第1连杆，基端部可旋转地被支撑在所述手臂基座上；第2连杆，基端部可旋转地被支撑在所述第1连杆的前端上；第1联接连杆，其一端可旋转地以同轴的方式被支撑在所述第2连杆基端部的旋转轴上，其另一端可旋转地以同轴的方式被支撑在所述第2手臂基端的旋转轴上；第2联接连杆，其一端可旋转地被支撑在所述第2连杆的前端上，其另一端可旋转地被支撑在所述第2手臂的前端上；及手部，连结在所述第2联接连杆上。