[发明专利]手臂机构及具备该机构的真空机器人

权利要求书

1.一种真空机器人，是在减压环境内搬运衬底的真空机器人，其特征在于，

其手臂具备：

手臂基座，在内部具有气密空间；

手臂驱动用马达，设置在所述手臂基座的气密空间内；

第1减速器，由输入所述手臂驱动用马达的旋转而旋转的中空减速器轴、及输入所述减速器轴的旋转并仅以规定比减速并在所述减速器轴周围旋转的第1减速器输出轴构成，设置为所述中空减速器轴的下端露出在所述手臂基座的气密空间内；

第1手臂，通过使所述中空减速器轴的上端进入而具有与所述手臂基座的气密空间相同压力的气密空间，且基端部固定在所述第1减速器输出轴上；

第2减速器，设置在所述第1手臂的前端，输入轴通过传递机构与所述减速器轴的上端连接；

第2手臂，基端部固定在所述第2减速器的输出轴上，在内部不具有气密空间；

第1连杆，基端部可旋转地被支撑在所述手臂基座上；

第2连杆，基端部可旋转地被支撑在所述第1连杆的前端上；

第1联接连杆，其一端可旋转地以同轴的方式被支撑在所述第2连杆基端部的旋转轴上，其另一端可旋转地以同轴的方式被支撑在所述第2手臂基端的旋转轴上；

第2联接连杆，其一端可旋转地被支撑在所述第2连杆的前端上，其另一端可旋转地被支撑在所述第2手臂的前端上；

及手部，连结在所述第2联接连杆上。

2.根据权利要求1所述的真空机器人，其特征在于，

所述第1连杆被支撑在所述手臂基座上，使所述第1连杆的下面与所述第1手臂的上面相比位于上侧。

3.根据权利要求2所述的真空机器人，其特征在于，

通过在所述手臂基座中，在收容有所述手臂驱动用马达的位置上面支撑所述第1连杆，在比收容有所述手臂驱动用马达的位置上面低的面上设置有所述第1减速器，而构成为所述第1连杆的下面与所述第1手臂的上面相比位于上侧。

4.根据权利要求1所述的真空机器人，其特征在于，

构成为所述第1连杆高度方向的厚度比所述第1手臂的厚度大。

5.根据权利要求2所述的真空机器人，其特征在于，

所述第2手臂和所述第2连杆的高度方向的厚度形成为大致相同的程度，并且分别联接在所述第1手臂和所述第1连杆上，使所述第2手臂和所述第2连杆的高度相同。

6.根据权利要求1所述的真空机器人，其特征在于，

从所述手部配设而来的缆线从所述第2联接连杆的一端配设在所述第2手臂的背面，从设置在所述第2手臂基端上的孔配设在所述第1联接连杆上，从所述第1连杆的前端配设在所述第1连杆的背面，经由所述第1连杆基端的旋转中心，连接于设置在所述手臂基座上的电流导入端子。

7.根据权利要求1所述的真空机器人，其特征在于，还具备：

与所述手臂基座的气密空间连通的轴；

使所述轴回转的回转机构；

使所述轴上下移动的上下机构；

以及收容所述轴、所述回转机构及所述上下机构的机身。

8.一种机器人的手臂机构，是用于在减压环境内搬运衬底的机器人的手臂机构，其特征在于，具备：

手臂基座，在内部具有气密空间；

手臂驱动用马达，设置在所述手臂基座的气密空间内；

第1减速器，由输入所述手臂驱动用马达的旋转而旋转的中空减速器轴、及输入所述减速器轴的旋转并仅以规定比减速并在所述减速器轴周围旋转的第1减速器输出轴构成，设置为所述中空减速器轴的下端露出在所述手臂基座的气密空间内；

第1手臂，通过使所述中空减速器轴的上端进入而具有与所述手臂基座的气密空间相同压力的气密空间，且基端部固定在所述第1减速器输出轴上；

第2减速器，设置在所述第1手臂的前端，输入轴通过传递机构与所述减速器轴的上端连接；

第2手臂，基端部固定在所述第2减速器的输出轴上，在内部不具有气密空间；

第1连杆，基端部可旋转地被支撑在所述手臂基座上；

第2连杆，基端部可旋转地被支撑在所述第1连杆的前端上；

第1联接连杆，其一端可旋转地以同轴的方式被支撑在所述第2连杆基端部的旋转轴上，其另一端可旋转地以同轴的方式被支撑在所述第2手臂基端的旋转轴上；

第2联接连杆，其一端可旋转地被支撑在所述第2连杆的前端上，其另一端可旋转地被支撑在所述第2手臂的前端上；

及手部，连结在所述第2联接连杆上。