[发明专利]透明导电薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种太阳电池，尤其涉及作为太阳电池的前电极的透明导电薄膜及其制备方法和应用。所述透明导电薄膜的制备方法包括下述步骤：在有氩气存在的压强为0.5～3Pa的气体环境中，在温度为200～300℃的预设有阻挡层的衬底上磁控溅射掺杂氧化锌，形成厚度为800～1200nm的透明导电薄膜。本发明还提供由该制备方法得到的透明导电薄膜以及将该透明导电薄膜刻蚀得到的绒面透明导电薄膜。另外，本发明还涉及含有该绒面透明导电薄膜的复合结构以及太阳电池。本发明的透明导电薄膜经制绒，能得到雾度高的绒面，从而增加太阳光的吸收，提高太阳电池的光电转换效率。

主权项

一种透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括下述步骤(1)：(1)在有氩气存在的压强为0.5～3Pa的气体环境中，在温度为200～300℃的预设有阻挡层的衬底上磁控溅射掺杂氧化锌，形成厚度为800～1200nm的透明导电薄膜，所述掺杂氧化锌为掺铝氧化锌、掺镓氧化锌或铝镓共掺氧化锌，掺铝氧化锌时，三氧化二铝的掺杂浓度为0.5‑2wt％；掺镓氧化锌时，三氧化二镓的掺杂浓度为1‑5wt％；铝镓共掺氧化锌时，三氧化二铝的掺杂浓度为0.3‑2wt％，三氧化二镓的掺杂浓度为0.5‑5wt％。