[发明专利]一种采用冷等静压和液相烧结制备W-10Ti合金靶材的方法

摘要

本发明公开了一种采用冷等静压和液相烧结制备W-10Ti合金靶材的方法，该方法以纯度高于99.9%的W粉和纯度高于96.7%的TiH2粉为原料，先对纳米级W粉与微米级W粉的级配，将级配后的W粉与TiH2粉进行混粉；然后在压力为210-260MPa，保压时间为3-6min的条件下进行压坯，再对压坯进行真空无压烧结，最后将W-Ti合金机加工成靶材成品即可。本发明与现有技术相比，采取液相烧结，烧结过程中不附加任何压力，具有可控尺寸大的优点且所制备的合金靶材形成了相对单一的富钨固溶体相、致密度较高。

主权项

一种采用冷等静压和液相烧结制备W‑10Ti合金靶材的方法，其特征在于，该方法包括以下操作步骤：步骤1，粉末的配比按照W‑10Ti合金的化学成分质量百分比为W：Ti=90 %：10 %的比例分别称取纯度高于99.9%的级配W粉和纯度高于96.7%的TiH2粉；其中，上述级配W粉是按照1：1或者1：2或者1:3的比例，对纳米级W粉与微米级W粉进行级配而成；步骤2，混粉将步骤1得到的TiH2粉末与级配W粉进行充分混合，混粉时间为6h；步骤3，压坯将步骤2得到的混合后的粉末装入冷等静压模具中，采用冷等静压机压制坯料，其中，压制压力为210‑260 MPa，保压时间为 3‑6min；步骤4，烧结 将步骤3得到的压坯置于高温真空烧结炉中，先对炉内抽真空，保证炉体内的真空度小于10‑3帕；然后对炉内压坯进行加热，控制加热速度为10℃/min，当炉内温度达到600‑700℃时，保温30‑60min；再以10℃/min的加热速度继续升温，最终烧结温度1800‑1860℃，保温90‑120min后，随炉自然冷却到室温后，完成烧结，得到W‑10Ti合金；步骤5，机加工最后对步骤4得到的W‑10Ti合金进行机加工，使之成为W‑10Ti靶材成品。