[发明专利]一种采用冷等静压和液相烧结制备W-10Ti合金靶材的方法

权利要求书

1.一种采用冷等静压和液相烧结制备W-10Ti合金靶材的方法，其特征在于，该方法包括以下操作步骤：

步骤1，粉末的配比

按照W-10Ti合金的化学成分质量百分比为W：Ti=90 %：10 %的比例分别称取纯度高于99.9%的级配W粉和纯度高于96.7%的TiH₂粉；其中，上述级配W粉是按照1：1或者1：2或者1:3的比例，对纳米级W粉与微米级W粉进行级配而成；

步骤2，混粉

将步骤1得到的TiH₂粉末与级配W粉进行充分混合，混粉时间为6h；

步骤3，压坯

将步骤2得到的混合后的粉末装入冷等静压模具中，采用冷等静压机压制坯料，其中，压制压力为210-260 MPa，保压时间为 3-6min；

步骤4，烧结 

将步骤3得到的压坯置于高温真空烧结炉中，先对炉内抽真空，保证炉体内的真空度小于10^-3帕；然后对炉内压坯进行加热，控制加热速度为10℃/min，当炉内温度达到600-700℃时，保温30-60min；再以10℃/min的加热速度继续升温，最终烧结温度1800-1860℃，保温90-120min后，随炉自然冷却到室温后，完成烧结，得到W-10Ti合金；

步骤5，机加工

最后对步骤4得到的W-10Ti合金进行机加工，使之成为W-10Ti靶材成品。

2.按照权利要求1所述的W-10Ti合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤3中使用的冷等静压模具为橡胶包套。

3.按照权利要求1所述的W-10Ti合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤中控制W-10Ti合金中杂质C、N和O的含量不高于1000 ppm。