[发明专利]电子元件封装装置及电子元件封装方法无效
申请号: | 201010515422.4 | 申请日: | 2010-10-09 |
公开(公告)号: | CN102044450A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 小暮吉成;武田泰英 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱德万测试 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
代理公司: | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人: | 高占元 |
地址: | 日本国东京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供可以在测试用载体上准确地形成布线图案的电子元件封装装置。电子元件封装装置1包括对测试用载体60的基部部件70的柔性基板74摄像生成第1图像信息的第1摄像机123、从第1图像信息检测出柔性基板74的对准标记79的位置、根据该对准标记79的位置计算出柔性基板74的第1布线图案78的印刷开始位置782的图像处理装置40、在柔性基板78上从印刷开始位置782形成第1布线图案78的印刷头122,和将晶粒90封装到形成第1布线图案78的柔性基板74的第2搬送臂21。 | ||
搜索关键词: | 电子元件 封装 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种电子元件封装装置,是在具有第1基板和所述第1基板上层压的第2基板的测试用载体上为测试电子元件进行临时封装的电子元件封装装置,其特征在于,包括对所述第2基板摄像生成第1图像信息的第1摄像单元、从所述第1图像信息检测出所述第2基板指定部分的位置、根据所述指定部分的位置识别所述第2基板的第1布线图案的形成开始位置的第1识别单元、在所述第2基板上从所述形成开始位置形成所述第1布线图案的布线形成单元,和将所述电子元件封装到形成所述第1布线图案的所述第2基板的封装单元。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造