[发明专利]边缘电场型液晶显示器阵列基板及其制作方法

摘要

一种边缘电场型液晶显示器阵列基板及其制作方法。边缘电场型液晶显示器阵列基板的栅极、栅极线和共同电极位于基板上同一层，且在同一光蚀刻制程中被图案化。

主权项

一种制作边缘电场型液晶显示器阵列基板的方法，包括如下步骤：提供一基板；通过第一光蚀刻制程形成多数栅极线，多数栅极和一共同电极于该基板之上，该第一光蚀刻制程包含：形成一第一导电层于该基板上，再形成一图案化光阻于该第一导电层之上；去除未被该光罩阻遮盖的导电层部分形成栅极线和栅极于该基板之上；形成一第一透明导体层覆盖整个基板和图案化光阻；去除该图案化光阻以及覆盖在该图案化光阻的第一透明导体层以形成共通电极；形成一栅极绝缘层覆盖该基板，该栅极线，栅极以及该共通电极；形成一半导体层于该栅极绝缘层之上，并采用第二光蚀刻制程图案化；形成多数数据线，多数源极和多数汲极于该栅极绝缘层和半导体层，并通过第三光蚀刻制程图案化；形成一钝化层于该栅极绝缘层、数据线、源极和汲极之上，并通过第四光蚀刻制程图案化，使得该钝化层上包含多数第一接触孔，该第一接触孔至少部分曝漏该每一汲极；形成多数画素电极于钝化层上，通过第五光蚀刻制程图案化，其中每一画素电极透过该接触孔电性连接该对应的汲极。