[发明专利]粒子束显微系统及其操作方法有效
| 申请号： | 201010504226.7 | 申请日： | 2010-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN101964294A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 沃尔夫拉姆·比勒;霍尔格·多默;马赛厄斯·兰;乔尔格·斯托多尔卡;彼得·罗迪杰;埃默里赫·伯塔格诺里;海因茨·万曾伯克 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司NTS有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;G01N23/225 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供一种粒子束显微系统及其操作方法。用于清洁自身的该粒子束显微系统1包括：辐射系统，以导引电磁辐射到需要清洁的表面；以及供给系统61，以供给前驱气体到粒子束系统1的真空室11的内部。在将被清洁的表面的附近，前驱气体被激活并转变为与存在于被辐照表面的污染物反应的反应气体，从而所述污染物随后可以被泵出。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 显微 系统 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
一种操作粒子束显微系统的方法，该方法包括：提供前驱气体到所述粒子束显微系统的真空室，其中样品座被构造为在所述真空室中保持样品；导引电磁辐射到所述粒子束显微系统的部件、被样品座保持的样品以及所述样品座的至少之一的表面；将所述表面附近的所述前驱气体转变为反应气体，该反应气体与存在于所述表面上的污染物反应；导引粒子束到所述样品；以及探测从所述样品发出的粒子。
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