[发明专利]粒子束显微系统及其操作方法

权利要求书

1.一种操作粒子束显微系统的方法，该方法包括：

提供前驱气体到所述粒子束显微系统的真空室，其中样品座被构造为在所述真空室中保持样品；

导引电磁辐射到所述粒子束显微系统的部件、被样品座保持的样品以及所述样品座的至少之一的表面；

将所述表面附近的所述前驱气体转变为反应气体，该反应气体与存在于所述表面上的污染物反应；

导引粒子束到所述样品；以及

探测从所述样品发出的粒子。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述前驱气体包括氧气、含氧气体和含氧蒸气之一，且其中所述反应气体包括臭氧。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述前驱气体的供给实施为使得所述真空室内的所述前驱气体的分压在100毫巴到2000毫巴之间。

4.如权利要求3所述的方法，其中所述前驱气体的供给还包括泵抽所述真空室。

5.如权利要求3所述的方法，其中所述前驱气体的供给实施为使得所述真空室内的总压小于所述前驱气体的分压的1.2倍。

6.如权利要求5所述的方法，其中所述前驱气体的供给还包括泵抽所述真空室。

7.如权利要求1所述的方法，还包括泵抽所述真空室以将总压减到10毫巴以下。

8.如权利要求1所述的方法，其中在导引所述电磁辐射到所述表面期间，所述前驱气体被持续地供给。

9.如权利要求1所述的方法，其中在导引所述电磁辐射到所述表面期间，所述真空室被持续地泵抽。

10.如权利要求1所述的方法，其中所述电磁辐射被导引到其上的表面包括所述真空室的壁、所述样品座和所述粒子束显微系统的探测器至少之一。

11.如权利要求1所述的方法，还包括供给处理气体到所述样品以及用所述粒子束激活所述处理气体，使得材料被沉积到所述样品上或从所述样品去除材料。

12.如权利要求1所述的方法，其中所述电磁辐射包括波长小于300nm的紫外线。

13.如权利要求1所述的方法，其中所述电磁辐射由布置在所述真空室内部的辐射源产生。

14.如权利要求1所述的方法，其中所述电磁辐射由布置在所述真空室外部的辐射源产生。

15.如权利要求14所述的方法，其中所述电磁辐射通过窗进入所述真空室。

16.如权利要求14所述的方法，其中所述电磁辐射通过光导被导向所述样品座附近。

17.如权利要求1所述的方法，其中所述电磁辐射入射到所述表面上的位置用调节器改变。

18.一种粒子束显微系统，包括：

真空室，包括室壁；

真空泵抽系统，用于在所述真空室内产生真空；

粒子束柱，包括布置在所述粒子束柱中并构造为产生导引到样品的粒子束的部件；

样品座，构造为在所述真空室内保持所述样品；

探测器，用于探测从所述样品中发出的粒子；

至少一个电磁辐射源；和

用于供应前驱气体到所述真空室的系统，

其中所述电磁辐射源相对于所述真空室布置为使得由所述电磁辐射源发出的辐射入射到所述粒子束显微系统的部件的表面上，而不入射到布置在所述粒子束柱内的部件上。

19.如权利要求18所述的粒子束显微系统，还包括气体供给器，用于供给反应气体到所述样品座附近。

20.如权利要求19所述的粒子束显微系统，构造为实施如权利要求1所述的方法。

21.一种粒子束显微系统，包括：

真空室，具有室壁；

真空泵抽系统，用于在所述真空室内产生真空；

粒子束柱，包括设置于所述粒子束柱中并构造为产生导引到样品的粒子束的部件；

样品座，构造为在所述真空室内保持所述样品；

探测器，用于探测从所述样品中发出的粒子；

至少一个电磁辐射源；和

用于供应前驱气体到所述真空室的系统，

其中，所述电磁辐射源相对于所述真空室布置为使得由所述电磁辐射源发出的辐射入射在导电表面上。