[发明专利]一种对准系统有效
| 申请号： | 201010286110.0 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102402140A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 杜聚有 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种对准系统，包括光源模块，提供对准系统所需的对准光束，所述对准光束至少具有两个传播方向；光学条纹形成装置，接收上述不同方向的对准光束，形成第一光学条纹；光学模块，接收第一光学条纹，形成具有和下述对准标记相同的周期和方向的第二光学条纹，并接收所述第二光学条纹照射到下述对准标标记后形成的衍射光束；对准标记，具有一定的周期，至少向两个方向排列，其能接收第二光学条纹，并使其发生衍射；光电探测器，设置在光学模块和光学条纹形成装置之间，接收并测量上述衍射光束的强度，利用光强变化反映的位相信息确定对准位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对准 系统 | ||
【主权项】：
一种对准系统，包括：光源模块，提供对准系统所需的对准光束，所述对准光束至少具有两个传播方向；光学条纹形成装置，接收上述不同方向的对准光束，形成第一光学条纹；光学模块，接收上述第一光学条纹，形成具有和下述对准标记相同的周期和方向的第二光学条纹，并接收所述第二光学条纹照射到下述对准标标记后形成的衍射光束；对准标记，具有一定的周期，至少向两个方向排列，其能接收第二光学条纹，并使其发生衍射；光电探测器，设置在光学模块和光学条纹形成装置之间，接收并测量上述第二光学条纹经上述对准标记衍射后的光束的强度，利用光强变化反映的位相信息确定对准位置。
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