[发明专利]相变存储器的制作方法无效
| 申请号： | 201010263081.6 | 申请日： | 2010-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101976726A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 马慧莉;王晓峰;张加勇;程凯芳;王晓东;季安;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种相变存储器的制作方法，该方法包括：步骤1：在衬底上淀积一层第一绝缘材料层；步骤2：在第一绝缘材料层上淀积一层金属层，作为相变存储器的下电极；步骤3：在金属层上制备一层第二绝缘材料层；步骤4：在第二绝缘材料层上采用微纳加工技术制备金属插塞电极的小孔；步骤5：采用无电化学镀的方法在小孔内填充金属作为插塞电极；步骤6：在第二绝缘材料层上淀积一层相变材料；步骤7：在相变材料上淀积一层金属材料，作为相变存储器的上电极；步骤8：在金属材料上淀积一层第三绝缘材料层；步骤9：在第三绝缘材料层上钝化开孔；步骤10：在第三绝缘材料层上和钝化开孔内，再淀积一层金属电极层，完成相变存储器的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 相变 存储器 制作方法 | ||
【主权项】：
一种相变存储器的制作方法，该方法包括：步骤1：在衬底上淀积一层第一绝缘材料层；步骤2：在第一绝缘材料层上淀积一层金属层，作为相变存储器的下电极；步骤3：在金属层上制备一层第二绝缘材料层；步骤4：在第二绝缘材料层上采用微纳加工技术制备金属插塞电极的小孔；步骤5：采用无电化学镀的方法在小孔内填充金属作为插塞电极；步骤6：在第二绝缘材料层上淀积一层相变材料；步骤7：在相变材料上淀积一层金属材料，作为相变存储器的上电极；步骤8：在金属材料上淀积一层第三绝缘材料层；步骤9：在第三绝缘材料层上钝化开孔；步骤10：在第三绝缘材料层上和钝化开孔内，再淀积一层金属电极层，完成相变存储器的制作。
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