[发明专利]硅片制绒专用承载装置有效

专利信息
申请号: 201010262793.6 申请日: 2010-08-26
公开(公告)号: CN101980375A 公开(公告)日: 2011-02-23
发明(设计)人: 屈莹;刘志刚 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 周祥生
地址: 213200 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种硅片制绒专用承载装置,包括左右栅板,栅板由上框杆、左侧杆、右侧杆、隔槽板和下框杆组成,上框杆、左侧杆、右侧杆和下框杆牢固地连接成一个栅板框,隔槽板平行于左侧杆和右侧杆分布在栅板框内,使栅板上形成若干条等间距竖直分布硅片插槽;在左侧杆、右侧杆和隔槽板上都设有设有透液孔,沿高度方向设有硅片限位杆孔,在硅片限位杆孔中穿插有限位杆;在每个硅片插槽中至少设有一只弹性压片,硅片插槽中插有硅片时,弹性压片能压迫硅片的侧面。它既能有效克服硅片在硅片插槽中的转卡现象,最大限度地减少硅片在制绒生产过程中碎片率,又能解决硅片在左右两侧面制绒不均问题。
搜索关键词: 硅片 专用 承载 装置
【主权项】:
一种硅片制绒专用承载装置,它由左栅板(1)、右栅板(2)、前挡板(3)和后挡板(4)围合而成,在左栅板(1)和右栅板(2)的上端对称地安装有上托架(5),在左栅板(1)和右栅板(2)的内侧面的下端固定有下托架(6);左栅板(1)与右栅板(2)的结构相同,在右栅板(2)的内侧壁上竖直地开设有硅片插槽(7),在上托架(5)和下托架(6)上都设有硅片插槽(7),且上托架(5)和下托架(6)上设有的硅片插槽(7)与栅板上设有的硅片插槽(7)相对应,其特征是,所述栅板由上框杆(21)、左侧杆(22)、右侧杆(23)、隔槽板(24)和下框杆(25)组成,上框杆21、左侧杆22、右侧杆23和下框杆(25)牢固地连接成一个栅板框,隔槽板(24)平行于左侧杆(22)和右侧杆(23),并分布在栅板框内,使栅板上形成若干条等间距竖直分布硅片插槽(7);在左侧杆(22)、右侧杆(23)和隔槽板(24)上都设有透液孔(26),沿高度方向设有硅片限位杆孔(27),在硅片限位杆孔(27)中穿插有限位杆(8)。
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