[发明专利]薄膜晶体管基板及其制造方法以及显示装置

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管基板，其在薄膜晶体管中具有透明导电膜和Al合金膜直接连接的结构，或者具有透明导电膜和Al膜隔着阻障金属层而连接的结构，在其制造工序中，不设置防腐蚀用涂料的涂敷或剥离之类的工序，就能够防止针孔。本发明为在薄膜晶体管中具有透明导电膜和Al合金膜直接连接的结构、或者具有透明导电膜和Al膜隔着阻障金属层而连接的结构的薄膜晶体管基板，在所述透明导电膜存在针孔的部位，在该部位的基底Al合金膜或基底Al膜的表面形成有厚度为3.5nm以上的氧化被膜。

主权项

一种薄膜晶体管基板，其特征在于，其在薄膜晶体管中具有透明导电膜和Al合金膜直接连接的结构，在所述透明导电膜存在针孔的部位，在该部位的基底Al合金膜表面形成有厚度为3.5nm以上的氧化被膜。