[发明专利]热式湿度传感器有效

专利信息
申请号: 201010258234.8 申请日: 2010-08-18
公开(公告)号: CN102004125A 公开(公告)日: 2011-04-06
发明(设计)人: 松本昌大;中野洋;半泽惠二;山田雅通 申请(专利权)人: 日立汽车系统株式会社
主分类号: G01N27/18 分类号: G01N27/18
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 李贵亮
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种高精度且机械性牢固的热式湿度传感器。本发明的热式湿度传感器的检测元件(1),在硅或陶瓷等热传导率好的材料构成的平板基板上形成有隔膜(2)(桥梁结构部),在该隔膜(2)上设有温度检测电阻体(4、5、6、7)和以包围该温度检测电阻体的方式配置的发热电阻体(3)。而且,基于温度检测电阻体(4、5、6、7)的输出检测湿度。由此,缩小从隔膜(2)向平板基板损失的热对湿度计测带来的误差。
搜索关键词: 湿度 传感器
【主权项】:
一种热式湿度传感器,其特征在于,具有:温度传感器;发热体,其在相互对置的两个发热位置发热,并在该两个发热位置之间具备所述温度传感器;湿度检测机构,其基于所述温度传感器的输出检测湿度。
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