[发明专利]热式湿度传感器有效
| 申请号: | 201010258234.8 | 申请日: | 2010-08-18 |
| 公开(公告)号: | CN102004125A | 公开(公告)日: | 2011-04-06 |
| 发明(设计)人: | 松本昌大;中野洋;半泽惠二;山田雅通 | 申请(专利权)人: | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号: | G01N27/18 | 分类号: | G01N27/18 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李贵亮 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种高精度且机械性牢固的热式湿度传感器。本发明的热式湿度传感器的检测元件(1),在硅或陶瓷等热传导率好的材料构成的平板基板上形成有隔膜(2)(桥梁结构部),在该隔膜(2)上设有温度检测电阻体(4、5、6、7)和以包围该温度检测电阻体的方式配置的发热电阻体(3)。而且,基于温度检测电阻体(4、5、6、7)的输出检测湿度。由此,缩小从隔膜(2)向平板基板损失的热对湿度计测带来的误差。 | ||
| 搜索关键词: | 湿度 传感器 | ||
【主权项】:
一种热式湿度传感器,其特征在于,具有:温度传感器;发热体,其在相互对置的两个发热位置发热,并在该两个发热位置之间具备所述温度传感器;湿度检测机构,其基于所述温度传感器的输出检测湿度。
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