[发明专利]热式湿度传感器

说明书

技术领域

本发明涉及热式湿度传感器，例如涉及在机动车那样的振动多的环境下使用的热式湿度传感器。

背景技术

作为湿度传感器，有利用根据空气中的水蒸气量而来自高温体的散热量变化的热式湿度传感器(参照例如专利文献1)

专利文献1：日本特开平8-184576号公报。

专利文献1所示的利用根据空气中的水蒸气量而来自高温体的散热量变化的热式湿度传感器中，由于来自高温体的热沿着支承部因热传导而损失，从而存在计测误差增大的课题。对于该课题，上述现有例中在硅基板形成桥梁结构，通过使所述桥梁结构体的支承部狭窄，降低热传导带来的热损失。

然而，当使所述桥梁结构体的支承部狭窄时，桥梁结构体的支承部的机械强度便会降低。特别的在机动车那样的振动多的环境下使用的情况下，桥梁结构体的支承部的机械强度尤为重要。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而创立的，其目的在于，提供一种高精度且机械性牢固的热式湿度传感器，由于从所述桥梁结构体的支承部的损失热不对湿度检测产生误差，从而可以使所述桥梁结构体的支承部更牢固，即使在机动车那样的振动多的环境下也能使用。

解决上述问题的本发明的热式湿度传感器的特征在于，具有：温度传感器；发热体，其在相互对置的两个发热位置发热，并在该两个发热位置之间具备所述温度传感器；湿度检测机构，其基于所述温度传感器的输出检测湿度。

根据本发明，发热体的两个发热位置之间的温度通过向空气的散热决定，可以减小从隔膜部(桥梁结构体)的支承部的损失的热带给湿度计测的误差。因此，可扩展隔膜部的支承部而增加其机械强度，可以提供即使在机动车那样的振动多的环境下也能使用的高精度且振动强的热式湿度传感器。

附图说明

图1是第一实施例的热式湿度传感器的检测元件的俯视图。

图2是图1的A-A’线剖面图。

图3是图1的A-A’线截面的温度分布图。

图4是第一实施例的热式湿度传感器的驱动电路图。

图5是第二实施例的热式湿度传感器的检测元件的俯视图。

图6是第二实施例的热式湿度传感器的驱动电路图。

图7是第三实施例的热式湿度传感器的检测元件的俯视图。

图8是第四实施例的热式湿度传感器的检测元件的俯视图。

图9是第五实施例的热式湿度传感器的检测元件的俯视图。

图10是第六实施例的热式湿度传感器的检测元件的俯视图。

符号说明

1、检测元件；2、隔膜；3、发热电阻体(发热体)；4、温度检测电阻体；5、温度检测电阻体；6、温度检测电阻体；7、温度检测电阻体；8、连接端子；9、连接端子；10、连接端子；11、连接端子；12、连接端子；13、连接端子；14、绝缘膜；15、绝缘膜；16、平板基板；17、晶体管；18、固定电阻；19、差动放大器；20、固定电阻；21、固定电阻；22、差动放大器；23、检测元件；24、隔膜；25、周围温度检测电阻体；26、发热电阻体(发热体)；27、发热体温度检测电阻体；28、温度检测电阻体；29、连接端子；30、连接端子；31、连接端子；32、连接端子；33、连接端子；34、连接端子；35、连接端子；36、连接端子；37、晶体管；38、差动放大器；39、固定电阻；40、固定电阻；41、固定电阻；42、差动放大器；43、检测元件；44、连接端子；45、连接端子；46、晶体管；47、发热电阻体(发热体)；48、温度检测电阻体；49、温度检测电阻体；50、温度检测电阻体；51、温度检测电阻体；52、发热电阻体(发热体)；53、连接端子；54、连接端子；55、连接端子；56、连接端子；57连接端子；58、连接端子；59、检测元件；60、连接端子；61、隔膜；62、发热电阻体(发热体)；63、热电偶组；64、热电偶组；65、热电偶组；66、发热电阻体(发热体)；67、连接端子；68、连接端子；69、连接端子；70、连接端子；71、连接端子；72、检测元件；73、连接端子；74、连接端子；75、连接端子；76、连接端子；77、连接端子；78、连接端子；79、隔膜；80、温度检测电阻体；81、发热电阻体(发热体)；82、温度检测电阻体；83、温度检测电阻体；84、温度检测电阻体。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。