[发明专利]具有半导体芯片和金属板的半导体设备及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201010258186.2 申请日: 2010-08-18
公开(公告)号: CN101996957A 公开(公告)日: 2011-03-30
发明(设计)人: 福冈大辅;手岛孝纪;真光邦明;坂本健;富坂学;藤井哲夫;田井明;赤松和夫;西畑雅由 申请(专利权)人: 株式会社电装
主分类号: H01L23/00 分类号: H01L23/00;H01L21/50;H01L21/60
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 陈珊;刘兴鹏
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种半导体设备包括用于覆盖第一金属布线(18)的第一保护膜(25)。第二保护膜(26)布置于第一保护膜(25)上,第二保护膜(26)由焊料层(29)覆盖。即使在焊料层(29)形成于第二保护膜(26)上之前裂纹产生于第二保护膜(26)中,也限制裂纹行进入第一保护膜(25)。
搜索关键词: 具有 半导体 芯片 金属板 半导体设备 及其 制造 方法
【主权项】:
一种半导体设备,其包括:包括半导体元件的半导体芯片(10),其中半导体芯片(10)还包括第一区域和第二区域,并且具有第一表面和第二表面;布置于半导体芯片(10)的第一表面上并且与半导体芯片(10)的第一区域电耦合的表面电极(17);布置于半导体芯片(10)的第一表面上并且与半导体芯片(10)的第二区域电耦合的第一金属布线(18),其中第一金属布线(18)控制将施加至第二区域的电势;布置于表面电极(17)上的金属层(27,28);覆盖第一金属布线(18)的第一保护膜(25);覆盖至少一部分表面电极(17)和至少一部分第一金属布线(18)并且与金属层(27,28)和表面电极(17)经由焊料层(29)电耦合的金属板(30),其中焊料层(29)布置于金属层(27,28)上;以及布置于所述至少一部分第一金属布线(18)上的绝缘层(18b),其经由焊料层(29)和第一保护膜(25)由金属板(30)覆盖,其中半导体芯片(10)、表面电极(17)、第一金属布线(18)和金属板(30)被封装,并且其中绝缘层(18b)布置于所述一部分第一金属布线(18)和第一保护膜(25)之间。
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