[发明专利]具有半导体芯片和金属板的半导体设备及其制造方法有效
申请号: | 201010258186.2 | 申请日: | 2010-08-18 |
公开(公告)号: | CN101996957A | 公开(公告)日: | 2011-03-30 |
发明(设计)人: | 福冈大辅;手岛孝纪;真光邦明;坂本健;富坂学;藤井哲夫;田井明;赤松和夫;西畑雅由 | 申请(专利权)人: | 株式会社电装 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00;H01L21/50;H01L21/60 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈珊;刘兴鹏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 半导体 芯片 金属板 半导体设备 及其 制造 方法 | ||
1.一种半导体设备,其包括:
包括半导体元件的半导体芯片(10),其中半导体芯片(10)还包括第一区域和第二区域,并且具有第一表面和第二表面;
布置于半导体芯片(10)的第一表面上并且与半导体芯片(10)的第一区域电耦合的表面电极(17);
布置于半导体芯片(10)的第一表面上并且与半导体芯片(10)的第二区域电耦合的第一金属布线(18),其中第一金属布线(18)控制将施加至第二区域的电势;
布置于表面电极(17)上的金属层(27,28);
覆盖第一金属布线(18)的第一保护膜(25);
覆盖至少一部分表面电极(17)和至少一部分第一金属布线(18)并且与金属层(27,28)和表面电极(17)经由焊料层(29)电耦合的金属板(30),其中焊料层(29)布置于金属层(27,28)上;以及
布置于所述至少一部分第一金属布线(18)上的绝缘层(18b),其经由焊料层(29)和第一保护膜(25)由金属板(30)覆盖,
其中半导体芯片(10)、表面电极(17)、第一金属布线(18)和金属板(30)被封装,并且
其中绝缘层(18b)布置于所述一部分第一金属布线(18)和第一保护膜(25)之间。
2.一种半导体设备,其包括:
包括半导体元件的半导体芯片(10),其中半导体芯片(10)还包括第一区域和第二区域,并且具有第一表面和第二表面;
布置于半导体芯片(10)的第一表面上并且与半导体芯片(10)的第一区域电耦合的表面电极(17);
布置于半导体芯片(10)的第一表面上并且与半导体芯片(10)的第二区域电耦合的第一金属布线(18),其中第一金属布线(18)控制将施加至第二区域的电势;
布置于表面电极(17)上的金属层(27,28);
覆盖第一金属布线(18)的第一保护膜(25);
覆盖至少一部分表面电极(17)和至少一部分第一金属布线(18)并且与金属层(27,28)和表面电极(17)经由焊料层(29)电耦合的金属板(30),其中焊料层(29)布置于金属层(27,28)上;以及
布置于第一保护膜(25)上的氟化表面处理层(37),第一保护膜(25)经由氟化表面处理层(37)由金属板(30)覆盖,
其中半导体芯片(10)、表面电极(17)、第一金属布线(18)和金属板(30)被封装,并且
其中氟化表面处理层(37)布置于金属板(30)和第一保护膜(25)之间。
3.一种半导体设备,其包括:
包括半导体元件的半导体芯片(10),其中半导体芯片(10)还包括第一区域和第二区域,并且具有第一表面和第二表面;
布置于半导体芯片(10)的第一表面上并且与半导体芯片(10)的第一区域电耦合的表面电极(17);
布置于半导体芯片(10)的第一表面上并且与半导体芯片(10)的第二区域电耦合的第一金属布线(18),其中第一金属布线(18)控制将施加至第二区域的电势;
布置于表面电极(17)上的金属层(27,28);
覆盖第一金属布线(18)的第一保护膜(25);
覆盖至少一部分表面电极(17)和至少一部分第一金属布线(18)并且与金属层(27,28)和表面电极(17)经由焊料层(29)电耦合的金属板(30),其中焊料层(29)布置于金属层(27,28)上;以及
布置于第一保护膜(25)上的防焊料穿入元件(38),其由金属板(30)覆盖,
其中半导体芯片(10)、表面电极(17)、第一金属布线(18)和金属板(30)被封装,并且
其中防焊料穿入元件(38)夹在金属板(30)和第一保护膜(25)之间。
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