[发明专利]具有压力调节机构的砂浆供给装置有效
| 申请号： | 201010251675.5 | 申请日： | 2010-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN101934559A | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 种宝春;靳永吉;张为强 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 张贰群 |
| 地址： | 065201 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体晶体加工过程中，采用多线锯切割机由晶棒或晶锭加工成晶片过程中，将砂浆从储存罐提升经管路喷淋到切割钢线上的装置技术领域。包括电机、泵，其主要特征在于其泵体的出口通过连管和浆罐联通，浆罐上设有浆出口，浆罐上具有机械式压力自动调节结构。其泵体具有内腔为圆柱形的泵桶，内腔为圆柱形的泵桶中设有具有螺旋槽绞龙式结构的转轮。用该装置可以将多线切割机切割使用的砂浆供送时可达到大大提高送浆的连续性、降低波动性，提高压力的一致性，有利于提高成品率和效率；本发明特别适用于半导体行业的多线切割机中对砂浆的提升。也可应用于其他的需要将高粘度、高密度的流体提升的行业中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 压力 调节 机构 砂浆 供给 装置 | ||
【主权项】：
一种具有压力调节机构的砂浆供给装置，包括电机(27)、泵，其特征在于具有机械式压力调节机构，其结构：泵体的出口通过连管(33)和罐体(31)连通，罐体(31)上设有砂浆出口(37)，罐体(31)上具有机械式压力自动调节结构。
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