[发明专利]具有压力调节机构的砂浆供给装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体晶体加工过程中，采用多线锯切割机由晶棒或晶锭加工成晶片过程中，将砂浆从储存罐提升经管路喷淋到切割钢线上的装置技术领域。

背景技术

由于多线锯切割机加工半导体晶棒或晶锭切割成晶片，具有加工效率较高，成品率较高的特点，所以得到了广泛使用。然而，砂浆流量的不均匀性逐渐暴露出来，砂浆流量的不均匀性影响着成品率的进一步提高。造成流量的不均匀的主要原因有：砂浆泵的转轮提升砂浆过程中有波动性和压力的变化。随着半导体晶棒或晶锭尺寸的增大，材料本身价值的不断提高，通过提高或保证加工成品率来降低加工成本，减少经济损失，已成为一个急待解决的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种具有压力调节机构的砂浆供给装置，用该装置可以将多线切割机切割使用的砂浆供送时提高连续性、降低波动性，提高压力的一致性，有利于提高成品率和效率；本发明特别适用于半导体行业的多线切割机中对砂浆的提升。也可应用于其他的需要将高粘度、高密度的流体提升的行业中。

本发明装置的主要技术方案是：一种具有压力调节机构的砂浆供给装置，包括电机、泵，其特征在于具有机械式压力调节机构，其结构：泵体的出口通过连管和罐体连通，罐体上设有砂浆出口，罐体上具有机械式压力自动调节结构。

所述的机械式压力自动调节结构可为：罐体上口外沿安装紧固有弹性隔膜，弹性隔膜的上方设有保护弹性隔膜的盖式压套，盖式压套套在罐体上，盖式压套和弹簧复位及调整机构相连。其密封性很好，工作非常稳定、可靠。

所述的机械式压力自动调节结构也可活塞式结构等，活塞杆和盖式压套绞联。

所述的盖式压套具有向内凸的球冠面较佳，更有利于提高弹性隔膜的耐用性和寿命和保证其正常工作。具有其他形状的面也可，但不及向内凸的球冠面为好。

所述的盖式压套可具有轴向滑动时避开浆出口的长条孔。

所述的弹簧复位及调整机构的结构可以为：盖式压套上具有至少3个与固定在罐体连接板上的导柱滑动配合的导孔，导孔设在盖式压套下部的导孔板上，导柱上在导孔板和导柱上的限位固定板之间设有压力弹簧。

所述的弹簧复位及调整机构的结构也可以用拉力弹簧式结构等。

所述的罐体为圆筒状较好，底部为倒圆台状，连管和倒圆台的顶部联通。其体积紧凑、浆流更顺畅。

所述的泵体最好具有内腔为圆柱形的泵桶，内腔为圆柱形的泵桶中设有具有螺旋槽绞龙式结构的转轮。

所述的具有螺旋槽绞龙式结构的转轮内安装最好具有有矩形方块，矩形方块内设有与转轴配合连接的方形孔，转轴设有矩形方块及具有螺旋槽绞龙式结构的转轮的限位结构。

所述的泵体的固定座内安装有用于定位固定转轴的轴承，轴承分别由压盖、轴承垫圈固定；内腔为圆柱形的泵桶与固定座焊接。

本发明的积极效果是：本发明解决了现有技术中一直存在的人们想解决而又一直未能解决的问题；利用该装置，可以将多线切割机切割使用的砂浆供送时提高连续性、降低波动性，提高压力的一致性，有利于提高成品率和效率。本发明特别适用于半导体行业的多线切割机中对砂浆的提升，也可应用于其他需要将高粘度、高密度的流体提升的行业中。

本发明专利将螺旋槽结构应用到砂浆泵提升砂浆的转轮上，使砂浆在提升过程中具有连续性，减小波动性，同时增加了具有随着压力变化而体积能够膨胀和收缩的装置来吸收压力的波动，使压力均匀，保证流量均匀。

以下结合一个较好的实施例及其附图作详述，但本实施例不能作为对本发明的限定。

附图说明

图1为本发明一个较好的实施例的结构示意图。

图2为图1的俯视图。

图3为图2中的A-A旋转剖视图。

图4为图1中具有螺旋槽绞龙式结构的转轮11的立体结构示意图。

图5为图4中转轮11的B-B剖面图。

图6为图1中矩形方块13的剖面图。

图中标号说明：1-机架板，2-固定座，3-螺栓，4-联轴器，5-压盖，6-轴承座，7、8-轴承垫圈，9-螺钉，10-内腔为圆柱形的泵桶，11-具有螺旋槽绞龙式结构的转轮，12-转轴，13-矩形方块，14-螺母，15-腔体，16-连接嘴，17-轴承，18-螺钉，19-锁母，20-长条孔，21-螺母，22-盖式压套，23-导柱，24-压力弹簧，25-限位固定板，26-螺钉，27-电机，28-螺钉，29-环形压套，30-弹性隔膜，31-罐体，32-连接板，33-连管，34螺旋槽，35-向内凸的球冠面，36-螺栓，37-砂浆出口。

具体实施方式