[发明专利]一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法，属于光学镜片制备技术领域。该方法以PC树脂镜片为基体，采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)技术在PC基体上沉积类金刚石(DLC)薄膜。本发明利用PECVD技术特点，即基体温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂，最终获得耐磨性和透光性良好的光学镜片。

主权项

一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法，包括如下步骤：1)以PC树脂镜片作为基体材料，用等离子体轰击基体；2)采用PECVD技术在基体上沉积类金刚石薄膜，沉积过程中，碳源气体为氢气稀释的甲烷，Ar气作为辅助气体，沉积功率为60-200W，沉积时间为15-60min，获得沉积类金刚石薄膜的PC树脂光学镜片。