[发明专利]一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法，包括如下步骤：

1)以PC树脂镜片作为基体材料，用等离子体轰击基体；

2)采用PECVD技术在基体上沉积类金刚石薄膜，沉积过程中，碳源气体为氢气稀释的甲烷，Ar气作为辅助气体，沉积功率为60-200W，沉积时间为15-60min，获得沉积类金刚石薄膜的PC树脂光学镜片。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2)中，碳源气体为氢气稀释的甲烷，甲烷的体积百分比浓度为50-100％。

3.如权利要求1所述的方法，其特征至于，步骤1)中，基体经过清洗，清洗操作包括：先在碱性溶液中浸泡30-60min，然后在去离子水中超声清洗，以除去PC基片表面的污染物，然后在50℃的烘箱中干燥10-20h。

4.如权利要求3所述方法，其特征在于，基体经过清洗后，进一步采用Ar气等离子体对基体轰击5-10min，功率为50-100W，Ar气流量为20-50ml/min。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，甲烷的气体流量为5-50ml/min；氢气的气体流量为10-50ml/min。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，通入的辅助气体Ar气的流量为0-30ml/min。