[发明专利]复合靶材及其制备方法无效
| 申请号： | 201010239239.6 | 申请日： | 2010-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN102336566A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;黄嘉 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/46 | 分类号： | C04B35/46;C04B35/622 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种复合靶材，其含有质量百分比为50％-85％的氧化钛及以及余量的氧化锡或氧化铝。本发明还提供该种复合靶材的制备方法，其包括以下步骤：将质量百分比为50％-80％的氧化钛粉体，质量百分比为15％-50％的氧化锡粉体或氧化铝粉体及质量百分比为5％-10％的粘结剂混合均匀，制得一混合物；将适量混合物放入模具中热压制成一坯体；然后对坯体进行高温烧结；烧结后自然冷却。本发明复合靶材可用于真空磁控溅射设备制备具有疏水、防紫外线及自清洁功能的透明薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种复合靶材，其特征在于：该复合靶材中含有质量百分比为50％‑85％的氧化钛以及余量的氧化锡或氧化铝。
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