[发明专利]复合靶材及其制备方法无效
申请号: | 201010239239.6 | 申请日: | 2010-07-28 |
公开(公告)号: | CN102336566A | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
发明(设计)人: | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;黄嘉 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C04B35/46 | 分类号: | C04B35/46;C04B35/622 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种复合靶材,其含有质量百分比为50%-85%的氧化钛及以及余量的氧化锡或氧化铝。本发明还提供该种复合靶材的制备方法,其包括以下步骤:将质量百分比为50%-80%的氧化钛粉体,质量百分比为15%-50%的氧化锡粉体或氧化铝粉体及质量百分比为5%-10%的粘结剂混合均匀,制得一混合物;将适量混合物放入模具中热压制成一坯体;然后对坯体进行高温烧结;烧结后自然冷却。本发明复合靶材可用于真空磁控溅射设备制备具有疏水、防紫外线及自清洁功能的透明薄膜。 | ||
搜索关键词: | 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种复合靶材,其特征在于:该复合靶材中含有质量百分比为50%‑85%的氧化钛以及余量的氧化锡或氧化铝。
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