[发明专利]复合靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种复合靶材，其特征在于：该复合靶材中含有质量百分比为50％-85％的氧化钛以及余量的氧化锡或氧化铝。

2.一种复合靶材的制备方法，其包括如下步骤：

将质量百分比为50％-80％的氧化钛粉体，质量百分比为15％-50％的氧化锡粉体或氧化铝粉体及质量百分比为5％-10％的粘结剂混合均匀，制得一混合物；

将所述混合物放入模具中热压制成一坯体；

对坯体进行高温烧结；

烧结后自然冷却。

3.如权利要求2所述复合靶材的制备方法，其特征在于：所述氧化钛粉体的纯度为97-99％，粒度为70-90μm；所述氧化锡粉体的纯度为97-99％，粒度为70-90μm；所述氧化铝粉体的纯度为97-99％，粒度为70-90μm。

4.如权利要求2所述的复合靶材的制备方法，其特征在于：所述粘结剂中含有正硅酸乙脂及有机溶剂，其中正硅酸乙脂及有机溶剂的质量比为1∶10。

5.如权利要求4所述的复合靶材的制备方法，其特征在于：所述有机溶剂为乙醇或丙酮。

6.如权利要求2所述的复合靶材的制备方法，其特征在于：所述热压的温度范围为100-300℃，压力为100-200吨。

7.如权利要求2所述的复合靶材的制备方法，其特征在于：所述高温烧结的温度范围为900-1800℃，烧结时间为3-4h。