[发明专利]一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，该涂层在吸热体基底表面从底部到顶部由三层膜构成，第一层是红外反射层，由金属钼薄膜组成；第二层是吸收层，吸收层由镍铝合金颗粒和绝缘介质构成的复合金属陶瓷层组成，结构上由厚度和镍铝合金体积百分含量各不同的两亚层构成，第一亚层的厚度为35～70nm，镍铝合金体积百分含量为40％～60％，第二亚层的厚度为30～60nm，镍铝合金体积百分含量为20％～40％；第三层是氧化铝陶瓷薄膜构成的减反射层。其制备方法有三大步骤。在大气质量因子AM1.5条件下，涂层吸收率为≥0.93，发射率≤0.09该涂层具有很好的热稳定性，可长期在600℃的真空环境下使用。本发明在太阳能热利用和热发电技术领域里具有实用价值和广阔的应用前景。

主权项

一种太阳能选择性吸收涂层，其特征在于：在吸热体基底表面自下至上依次为红外反射层、吸收层和减反射层；该红外反射层，由100 300nm厚的钼、钼合金、镍、镍铝合金、钨、钨合金、钛及钛合金中的一种或几种金属膜构成；以相应的金属作为靶材，采用直流溅射方法，以氩气作为溅射气体制备；该吸收层，其成分由镍铝合金颗粒和绝缘介质构成的复合金属陶瓷层组成，该绝缘介质采用：氧化铝、氮化铝、氮化硅、氧化硅、镍铝合金的氮氧化物中的一种或几种；其结构由厚度和AlNi体积百分含量各不同的两亚层构成，第一亚层的厚度为35 70nm，AlNi体积百分含量为40％ 60％，第二亚层的厚度为30 60nm，AlNi体积百分含量为20％ 40％；该减反射层，其厚度为40 80nm，采用氧化铝、氮化铝、氮化硅和氧化硅中的一种或几种制成；溅射气体为氩气，采用相应的铝，氧化铝，氮化铝，硅，氮化硅，氧化硅靶材中的一种或几种射频溅射或者直流反应溅射制备该涂层。