[发明专利]真空气相沉积设备有效
| 申请号： | 201010217597.7 | 申请日： | 2010-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN101949001A | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 柳雄二 | 申请（专利权）人： | 三菱重工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘晓峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在一种包括多个直线形蒸发源的真空气相沉积设备中，为蒸发容器分别计算等厚面。每个等厚面表示从对应的蒸发容器中的排放孔释放的蒸发材料的蒸汽的沉积量每单位时间都相同的位置。随后，蒸发容器以各个等厚面的接触点在基板的表面上都相互重合的方式放置，每个接触点表示对应的等厚面与基板的表面接触的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种真空气相沉积设备，其中，每个包含蒸发材料并具有线性地设置的多个排放孔的多个蒸发容器平行于所述多个排放孔的设置方向放置，并且所述蒸发容器被加热，以蒸发或升华对应的蒸发材料，并且对应的材料的蒸汽通过所述多个排放孔释放，以及所述蒸发材料混合在一起并通过沿垂直于所述多个排放孔的所述设置方向的方向相对移动基板和所述蒸发容器而沉积在所述基板的整个表面上，其中：分别计算所述蒸发容器的等厚面，每个等厚面表示从对应的蒸发容器中的所述排放孔释放的所述蒸发材料的蒸汽的沉积量每单位时间都相同的位置；并且所述蒸发容器以各个等厚面的接触点在所述基板的所述表面上都相互重合的方式放置，每个接触点表示对应的等厚面与所述基板的所述表面接触的位置。
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