[发明专利]真空气相沉积设备

权利要求书

1.一种真空气相沉积设备，其中，

每个包含蒸发材料并具有线性地设置的多个排放孔的多个蒸发容器平行于所述多个排放孔的设置方向放置，并且

所述蒸发容器被加热，以蒸发或升华对应的蒸发材料，并且对应的材料的蒸汽通过所述多个排放孔释放，以及所述蒸发材料混合在一起并通过沿垂直于所述多个排放孔的所述设置方向的方向相对移动基板和所述蒸发容器而沉积在所述基板的整个表面上，其中：

分别计算所述蒸发容器的等厚面，每个等厚面表示从对应的蒸发容器中的所述排放孔释放的所述蒸发材料的蒸汽的沉积量每单位时间都相同的位置；并且

所述蒸发容器以各个等厚面的接触点在所述基板的所述表面上都相互重合的方式放置，每个接触点表示对应的等厚面与所述基板的所述表面接触的位置。

2.根据权利要求1所述的真空气相沉积设备，其中，

在所述蒸发容器包括从所述蒸发容器突出的喷嘴并且所述排放孔被设置成穿过所述喷嘴的情况下，所述蒸发容器放置为垂直竖立，并且所述喷嘴以各个等厚面的接触点在所述基板的所述表面上都相互重合的方式倾斜。

3.根据权利要求1和2中的任一项所述的真空气相沉积设备，其中，

每个蒸发容器在其中都包括整流板，所述整流板具有通过对应的蒸汽的多个通孔；并且

对于沿所述多个排放孔的所述设置方向的单位长度的流导，通过所述通孔的流导形成为与通过所述排放孔的流导成比例。