[发明专利]蒸镀机无效
申请号: | 201010213000.1 | 申请日: | 2010-06-30 |
公开(公告)号: | CN102312200A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 廖名扬;吴佳颖 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种蒸镀机,其包括一腔体、一离子发射源、一蒸发源及一镀膜伞架。腔体包括一顶板及一与顶板相对的底板。镀膜伞架固设在所述腔体的顶板内侧。离子发射源包括一坩埚座及一膜料。所述坩埚座开设有一收容所述膜料的收容槽。所述蒸镀机进一步包括一升降驱动组件及一控制装置。升降驱动组件包括一固定板及一升降器。离子发射源及蒸发源均固设在所述固定板上。固定板连接至升降器。升降器固定在所述腔体的底板上,并用于驱动所述固定板进行相对所述腔体的底板升降。控制装置设置在所述腔体内,与升降器电性连接,并用于控制升降器的升降量,以使收容槽内的膜料离镀膜伞架的高度始终保持不变。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀机 | ||
【主权项】:
一种蒸镀机,其包括一腔体、一膜料源、一蒸发源及一镀膜伞架,所述腔体包括一顶板及一与顶板相对的底板,所述镀膜伞架固设在所述腔体的顶板内侧,所述膜料源包括一坩埚座及一膜料,所述坩埚座开设有一收容所述膜料的收容槽,其特征在于:所述蒸镀机进一步包括一升降驱动组件、及一控制装置,所述升降驱动组件包括一固定板及一升降器,所述膜料源及所述蒸发源均固设在所述固定板上,所述固定板连接至所述升降器,所述升降器固定在所述腔体的底板上,并用于驱动所述固定板进行相对所述腔体的底板升降,所述控制装置设置在所述腔体内,与所述升降器电性连接,并用于控制所述升降器的升降量,以使所述收容槽内的所述膜料离所述镀膜伞架的高度始终保持不变。
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