[发明专利]一种基于真空隧道电流检测的红外气体检测方法及检测装置

摘要

本发明公开了一种基于真空隧道电流检测的红外气体检测方法及检测装置，该红外气体传感器包括：红外光源、红外滤光片、被测气体的开放气室、被测气体的密闭气室、真空室、左隧道电极和右隧道电极、左偏转电极和右偏转电极；四周的气室侧壁内表面设置光线反射面；密闭气室内密封纯净的被测气体，它的一个端面为弹性膜，其中的被测气体吸收红外后温度升高、压力增大，致使弹性膜变形，导致左隧道电极和右隧道电极之间的间距变化，最终使得真空隧道电流发生变化，由于气室和密闭气室内被测气体对红外光的差分吸收，因此依据真空隧道电流的大小可判断气室内被测气体的浓度。采用这一技术方案使得红外气体传感器结构简单、检测精度高、对红外光源的单色性要求低。

主权项

一种基于真空隧道电流检测的红外气体检测方法，其特征在于：采用红外光源，以红外光源首先通过被测气体的开放气室，再进入被测气体的密闭气室，使密闭气室内被测气体温度升高、压力增大，密闭气室以其外侧端的弹性膜板在压力增大下的变形使真空室内两隧道电极之间的距离发生变化，从而使得真空隧道电流发生变化；依据真空隧道电流的变化判断开放气室内被测气体的浓度。