[发明专利]一种基于真空隧道电流检测的红外气体检测方法及检测装置

权利要求书

1.一种基于真空隧道电流检测的红外气体检测方法，其特征在于：采用红外光源，以红外光源首先通过被测气体的开放气室，再进入被测气体的密闭气室，使密闭气室内被测气体温度升高、压力增大，密闭气室以其外侧端的弹性膜板在压力增大下的变形使真空室内两隧道电极之间的距离发生变化，从而使得真空隧道电流发生变化；依据真空隧道电流的变化判断开放气室内被测气体的浓度。

2.一种基于真空隧道电流检测的红外气体传感器，其特征在于：设置红外光源(1)，在所述红外光源(1)的光轴线上分别设置有被测气体的开放气室(6)、被测气体的密封气室(10)和真空隧道电流的真空室(12)；来自红外光源(1)的红外光线透过红外滤光片(2)经开放气室(6)后，再通过透光玻璃板(8)投向密闭气室(10)，密闭气室(10)以其外端侧的弹性膜板(11)作为可改变真空室(12)内两隧道电极之间的距离的真空室(12)的一侧端面。

3.根据权利要求2所述的红外气体传感器，其特征在于：设置所述被测气体的开放气室(6)的左端板为红外滤光片(2)，右端板为透光玻璃板(8)，四周的开放气室侧壁(3)内表面为光线反射面(4)，开放气室侧壁(3)上设置有进气孔(5)和排气孔(7)。

4.根据权利要求2所述的红外气体传感器，其特征在于：所述的被测气体的密闭气室(10)是以透光玻璃板(8)为一侧端板、与四周的密闭气室侧壁(9)和另一端的弹性膜(11)共同围成；所述四周的密闭气室侧壁(9)和弹性膜(11)为一体化结构；在所述密闭气室(10)内按设定的压力封闭有纯净的被测气体，在所述弹性膜(11)的外表面中心设置左隧道电极(14)，在所述左隧道电极(14)外围设置左偏转电极(13)。

5.根据权利要求2所述的红外气体传感器，其特征在于：所述的真空隧道电流的真空室(12)是以所述弹性膜(11)所在一侧的密闭气室(10)的端面为端板、与四周的真空室侧壁(19)与右侧端板(18)共同围成；在所述右侧端板(18)的中心、朝向左隧道电极(13)的方向有一尖锥(17)；所述真空室侧壁(19)、右侧端板(18)以及尖椎(17)为一体化结构；对应于所述左隧道电极(14)所在位置，在所述尖锥(17)的锥体表面及右侧端板(18)内侧中心设置右隧道电极(16)，对应于所述左偏转电极(13)所在位置，在所述右隧道电极(16)外围设置右偏转电极(15)。