[发明专利]制造固态成像器件的方法以及固态成像器件

摘要

本发明涉及制造固态成像器件的方法以及固态成像器件。本发明公开的一种制造固态成像器件的方法包括下列步骤：在半导体衬底的光接收区域中形成光接收部分；在半导体衬底的盘区域中形成盘部分；在光接收部分和盘部分上方形成微透镜材料层；给微透镜材料层设置与光接收部分对应的微透镜；在微透镜材料层上形成低反射材料层；对盘部分上方的微透镜材料层和低反射材料层进行刻蚀以形成开口；通过常温氧自由基处理，给低反射材料层的表面和开口的内部部分施加亲水性。

主权项

一种制造固态成像器件的方法，包括下列步骤：在半导体衬底的光接收区域中形成光接收部分；在所述半导体衬底的盘区域中形成盘部分；在所述光接收部分和所述盘部分上方形成微透镜材料层；给所述微透镜材料层设置与所述光接收部分对应的微透镜；在所述微透镜材料层上形成低反射材料层；对所述盘部分上方的所述微透镜材料层和所述低反射材料层进行刻蚀以形成开口；以及通过常温氧自由基处理，给所述低反射材料层的表面和所述开口的内部部分施加亲水性。