[发明专利]一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒

摘要

本发明公开一种活动式硅基薄膜太阳能电池沉积盒，属于太阳能电池技术领域。沉积盒主要技术特点电极阵列至少一组阴极板和一块阳极板安装在活动腔室内。由腰部呈扁平状的信号馈入组件一圆形端面接触信号馈入口，位于阴极板背平面中心区域内下凹圆形面内，馈入射频/甚高频功率电源信号，阳极板接地。阴极板屏蔽罩有通孔，阴极板与屏蔽罩之间绝缘。效果在于以电极板中心面馈入，克服了一点或多点馈入因馈线距离造成的损耗。以射频/甚高频功率电源驱动可获得均匀电场大面积稳定放电，有效的消除驻波和趋肤效应，使产率提高，成本降低。

主权项

一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒，包括电极板组件、信号馈入组件和腔室，其特征在于还包括阴极板屏蔽罩，所说的腔室是一个带滚轮的活动式腔室，该腔室内安装由电极板构成的电极阵列，馈入口位于电极板组件的阴极板背面中心区域内下凹的圆形或半圆形面内，在其圆形或半圆形的馈入口内面接触连接的信号馈入组件接射频/甚高频功率电源信号的负极，所说的信号馈入组件其端面是半圆形或圆形；所说的阴极板的屏蔽罩上开有通孔，阴极板与屏蔽罩之间绝缘；所说的电极阵列至少一组阴极板和一块阳极板。