[发明专利]一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒

权利要求书

1.一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒，包括电极板组件、信号馈入组件和腔室，其特征在于还包括阴极板屏蔽罩，所说的腔室是一个带滚轮的活动式腔室，该腔室内安装由电极板构成的电极阵列，馈入口位于电极板组件的阴极板背面中心区域内下凹的圆形或半圆形面内，在其圆形或半圆形的馈入口内面接触连接的信号馈入组件接射频/甚高频功率电源信号的负极，

所说的信号馈入组件其端面是半圆形或圆形；

所说的阴极板的屏蔽罩上开有通孔，

阴极板与屏蔽罩之间绝缘；

所说的电极阵列至少一组阴极板和一块阳极板。

2.根据权利要求1所述的一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒，其特征在于所说的一组阴极板和一块阳极板，由阳极板的两个面分别朝向对称放置的阴极板的有效放电工作面。

3.根据权利要求1所述的一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒，其特征在于所说的信号馈入组件包括铜质馈入芯体和绝缘层和外表屏蔽层。

4.根据权利要求1所述的一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒，其特征在于所说的阴极板是单面放电，阴极板的屏蔽罩包括陶瓷绝缘层、屏蔽层，屏蔽罩覆盖整个阴极板背面和侧面。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒，其特征在于所说的电极是由多套带屏蔽罩的阴极板与多套接地的阳极板，构成一定间距放电的电极阵列。

6.根据权利要求5所述的一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒，其特征在于所说的阴极板屏蔽罩，还包括射频/甚高频电源功率信号馈入至阴极板背面的中心位置及四周侧面的屏蔽。

7.根据权利要求5所述的一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒，其特征在于所说的信号馈入组件由腰部和头部构成外形呈Z字形状，腰部有陶瓷绝缘层，金属馈入芯是射频/甚高频馈线构成导电体。

8.根据权利要求1所述的一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒，其特征在于所说的信号馈入组件的另一端接射频/甚高频功率电源信号的阴极输出口和功率电源匹配器。

9.一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒的信号馈入方法，由电极板组件、馈入组件在腔室的信号馈入模式，其特征在于带有活动式滚轮的腔室内安装由电极板组件构成的电极阵列，电极阵列至少一组阴极板和一块阳极板；

馈入口位于电极板的阴极板背面中心区域内的下凹的圆形或半圆形面内，在其口内面接触连接馈入组件；

信号馈入模式是面馈入；

馈入组件的一端半圆形或圆形面接触连接阴极板的圆形或半圆形面馈入口；

馈入射频/甚高频功率电源信号；

电极板的阴极板屏蔽罩和阳极板接地。

10.根据权利要求9所述的一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒的信号馈入方法，其特征在于所说电极由多套馈入组件和电极板组件以面馈入方式将射频/甚高频功率电源信号馈入到电极板馈入口，形成具有一定放电间距的电极阵列。

11.根据权利要求9所述的一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒的信号馈入方法，其特征在于所说的Z字形馈入组件腰部有陶瓷绝缘层，金属馈入芯是射频/甚高频馈线构成导电体。

12.根据权利要求11所述的一种硅基薄膜太阳能电池的沉积盒的信号馈入方法，其特征在于所说的馈入组件的导电体另一端接射频/甚高频功率电源信号的阴极输出口和功率电源匹配器。