[发明专利]等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法及系统有效
| 申请号： | 201010195683.2 | 申请日： | 2010-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN101893879A | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 王永贵 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/677;C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100016 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，所述的方法包括；传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则开启所述传输模块降至低位的操作功能；在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，执行传输模块降至低位的操作。本发明可以防止载板摔落，提高载板传输的安全性，从而有效降低生产成本，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 化学 沉积 设备 传输 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法，其特征在于，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，所述的方法包括；传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则开启所述传输模块降至低位的操作功能；在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，执行传输模块降至低位的操作。
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