[发明专利]等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法及系统

权利要求书

1.一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法，其特征在于，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，所述的方法包括；

传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；

检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则开启所述传输模块降至低位的操作功能；

在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，执行传输模块降至低位的操作。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述预热腔设置有位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

由所述预热腔的位置传感器检测当前载板是否传输到预热腔的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述装载台和预热腔分别设置有相应的位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

由所述装载台的位置传感器检测当前载板是否传出装载台，并且，由所述预热腔的位置传感器检测当前载板是否传输到预热腔的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述装载台设置有位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

由所述装载台的位置传感器检测当前载板是否传出装载台，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传输模块为卸载台，所述反应腔室为冷却腔，所述卸载台设置有位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

由所述卸载台的位置传感器检测当前载板是否传输到卸载台的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传输模块为卸载台，所述反应腔室为冷却腔，所述卸载台和冷却腔分别设置有位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

由所述冷却腔的位置传感器检测当前载板是否传出冷却腔，并且，由所述卸载台的位置传感器检测当前载板是否传输到卸载台的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

若检测当前载板未正常传输到指定位置，则维持所述传输模块降至低位的操作功能的关闭状态。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传输模块降至低位的操作功能的开启和关闭采用逻辑开关控制。

9.一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制系统，其特征在于，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，所述的系统包括；

低位功能关闭模块，用于在传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输时，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；

传输检测模块，用于检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则触发低位功能开启模块；

低位功能开启模块，用于开启所述传输模块降至低位的操作功能；

低位操作模块，用于在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，执行传输模块降至低位的操作。

10.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述预热腔设置有位置传感器；所述传输检测模块包括：

第一检测子模块，用于由所述预热腔的位置传感器检测当前载板是否传输到预热腔的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

11.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述装载台和预热腔分别设置有相应的位置传感器；所述传输检测模块包括：

第二检测子模块，用于由所述装载台的位置传感器检测当前载板是否传出装载台，并且，由所述预热腔的位置传感器检测当前载板是否传输到预热腔的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。