[发明专利]一种等离子体浸没注入剂量的检测装置

摘要

本发明属于等离子体技术领域，具体为一种等离子体浸没注入剂量检测装置。该装置包括：安装于腔体内靶台的信号采集器，引线以及外围测量仪器；其中，信号采集器为导电金属片和绝缘体基片的双层结构，所述引线为刚性结构，用于连接信号采集器和外围检测仪器。该装置通过控制引线转动使信号采集器在靶台上移动，得到靶台各点的离子注入剂量信息，进而得到离子注入剂量在靶台上的分布。本发明装置解决了以往测试剂量通过检测等离子体浓度的复杂性，并提高了精确度。本发明装置也可以在各类衍生的等离子体浸没注入设备中使用。

主权项

一种等离子体浸没注入剂量的检测装置，为等离子体浸没注入设备的附属装置，其特征在于包括：安装于腔体内靶台的信号采集器，引线以及外围测量仪器；其中，所述信号采集器为导电金属片和绝缘体基片的双层结构，上层的导电金属片实现注入电场模拟，下层的绝缘体基片实现采集器与靶台的电绝缘；所述引线为刚性结构，用于连接信号采集器和外围检测仪器，引线通过外围机械传动来控制信号采集器在靶台上的移动，引线在测量等离子浸没注入剂量时加载电压，并由此引线引出信号，收集信息；所述外围检测仪器包括高压探头，用于加载信号收集器上的高压信号转换，并进一步通过示波器进行信号收集和存储数据处理。