[发明专利]一种等离子体浸没注入剂量的检测装置无效
| 申请号： | 201010191678.4 | 申请日： | 2010-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101899646A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | 吴晓京;王一鹏;张昕;卢茜 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 浸没 注入 剂量 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子体浸没注入剂量的检测装置，为等离子体浸没注入设备的附属装置，其特征在于包括：安装于腔体内靶台的信号采集器，引线以及外围测量仪器；其中，所述信号采集器为导电金属片和绝缘体基片的双层结构，上层的导电金属片实现注入电场模拟，下层的绝缘体基片实现采集器与靶台的电绝缘；所述引线为刚性结构，用于连接信号采集器和外围检测仪器，引线通过外围机械传动来控制信号采集器在靶台上的移动，引线在测量等离子浸没注入剂量时加载电压，并由此引线引出信号，收集信息；所述外围检测仪器包括高压探头，用于加载信号收集器上的高压信号转换，并进一步通过示波器进行信号收集和存储数据处理。
2.如权利要求1所述的等离子体浸没注入剂量的检测装置，其特征在于，引线与等离子体真空腔体为电绝缘和真空密封，通过特氟龙材料模具和O型密封圈实现。
3.如权利要求1所述的等离子体浸没注入剂量的检测装置，其特征在于，所述信号采集器到靶台中心位置的距离与转动角度θ存在关系：其中所述引线的旋转轴心到靶台中心的距离r0大于二分之一的靶台半径R0，即r0＞R0/2，θ为引线的转动角度。
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