[发明专利]一种紫外激光应用的光学镜头有效

专利信息
申请号: 201010185415.2 申请日: 2010-05-27
公开(公告)号: CN101866043A 公开(公告)日: 2010-10-20
发明(设计)人: 李家英;周朝明;高云峰 申请(专利权)人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
主分类号: G02B13/14 分类号: G02B13/14;G02B13/18;B23K26/36
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518055 广东省深圳市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种紫外激光应用的光学镜头,其特征在于,包括:位于光束的入射方向依序排列的第一、第二、第三透镜,所述第一透镜为双凹型透镜;第二透镜为弯月型透镜,且曲面均向着光线入射方向弯曲;第三透镜为双凸型透镜;其中,本光学镜头用于焦距为254mm、波长为355nm的紫外激光、加工范围为160mm2*160mm2加工区域。本发明在像差校正中采用了高级像差相互补偿的概念,从而得到了较好的效果,且紫外激光经该镜头聚焦光斑小、能量集中,可进行超精细加工,加工而成的产品更加精细、清晰。
搜索关键词: 一种 紫外 激光 应用 光学 镜头
【主权项】:
一种紫外激光应用的光学镜头,其特征在于,包括:位于光束的入射方向依序排列的第一、第二、第三透镜,所述第一透镜为双凹型透镜;第二透镜为弯月型透镜,且曲面均向着光线入射方向弯曲;第三透镜为双凸型透镜;其中,本光学镜头用于焦距为254mm、波长为355nm的紫外激光、加工范围为160mm2*160mm2加工区域。
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