[发明专利]一种紫外激光应用的光学镜头有效
| 申请号： | 201010185415.2 | 申请日： | 2010-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN101866043A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李家英;周朝明;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/14 | 分类号： | G02B13/14;G02B13/18;B23K26/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 激光 应用 光学 镜头 | ||
1.一种紫外激光应用的光学镜头，其特征在于，包括：位于光束的入射方向依序排列的第一、第二、第三透镜，所述第一透镜为双凹型透镜；第二透镜为弯月型透镜，且曲面均向着光线入射方向弯曲；第三透镜为双凸型透镜；其中，本光学镜头用于焦距为254mm、波长为355nm的紫外激光、加工范围为160mm2*160mm2加工区域。
2.如权利要求1所述的紫外激光应用的光学镜头，其特征在于：所述镜头的视场角为50°。
3.如权利要求1所述的紫外激光应用的光学镜头，其特征在于：所述镜头的入瞳直径为16mm。
4.如权利要求1所述的紫外激光应用的光学镜头，其特征在于：所述第一透镜的两个曲面S1、S2曲率半径分别为R1＝-45mm、R2＝1500mm，其光轴上的中心厚度d1＝3mm；第二透镜的两个曲面S3、S4曲率半径分别为R3＝-110mm、R4＝-68mm，其光轴上的中心厚度d3＝6mm；第三透镜两个曲面S5、S6曲率半径分别为R5＝770mm、R6＝-72mm，其光轴上的中心厚度d5＝6mm，其中，所有透镜曲率半径的公差范围为5％。
5.如权利要求1所述紫外激光应用的光学镜头，其特征在于：所述第一透镜的材料为Nd1∶Vd1为1.5/70，其公差范围为5％。
6.如权利要求1所述紫外激光应用的光学镜头，其特征在于：所述第二透镜的材料为Nd3∶Vd3为1.6/41，其公差范围为5％。
7.如权利要求1所述紫外激光应用的光学镜头，其特征在于：所述第三透镜的材料为Nd5∶Vd5为1.6/41，其公差范围为5％。
8.如权利要求1所述的紫外激光应用的光学镜头，其特征在于：所述第一透镜与第二透镜在光轴上的间隔为4mm，其公差范围为5％。
9.如权利要求1所述的紫外激光应用的光学镜头，其特征在于：第二透镜与第三透镜在光轴上的间隔为d4＝0.1mm，其公差范围为5％。
10.如权利要求1所述的紫外激光应用的光学镜头，其特征在于：第三透镜与成象面在光轴上的距离为d6＝110mm，其公差范围为5％。
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