[发明专利]高反射镜激光积分散射率多角度综合测量装置

摘要

本发明涉及一种高反射镜激光积分散射率多角度综合测量装置。目前对积分散射率测量时，入射光以很小的入射角照射到被测表面后用积分球来收集散射光，而实际中，入射光有不同的入射角，且在谐振腔中不同的激光偏振态其散射损耗也不同，无法提供适宜的工作状态。本发明提供一种高反射镜激光积分散射率多角度综合测量装置，包括设置于光学平台上的光源组件和积分球，其中光源组件上设置有波片和衰减片，积分球上设置有入射口、测量口和输出口，输出口上设置有光电倍增管，入射口上设置有光阑，入射口和测量口上还设置有其他配件。本发明可提供不同偏振态的激光以多角度入射到高反射镜的积分散射测量装置，符合实际工作状态，测量更准确合理。

主权项

一种高反射镜激光积分散射率双角度综合测量装置，包括设置于光学平台（19）上的光源组件和积分球（14），其特征在于：所述光源组件上设置有波片（4）和衰减片（6），所述积分球（14）上设置有入射口、测量口和输出口，输出口上设置有光电倍增管（18），入射口上设置有光阑，入射口和测量口上还设置有配件，其特殊之处在于：所述积分球（14）上还设置有带配件的消光口，所述入射口、测量口和消光口设置有相互对应的多组，每组中进入入射口的入射光与反射出出光口的射出光的光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为测量角，在反射光的光路上、出光口的外侧设置有消光阱。